公开(公告)号：CN1421688A

公开(公告)日：2003-06-04

申请号：CN02154361.5

申请日：2002-11-26

申请人： 欧姆龙株式会社

发明人： 鴛海明 ,  藤井良樹 ,  藤田有人

IPC分类号： G01N21/55 ,  G01N21/88

CPC分类号： G01R31/309 ,  G01N21/274 ,  G01N21/95684 ,  G01N2021/95638 ,  G01N2021/95646

摘要： 本发明的曲面体表面状态检查方法及基板检查装置，即使是在以具有漫反射性的曲面体作为认识对象的情况下，也能够进行稳定的检查。该基板检查装置具备投光单元(4)，该投光单元的发出R、G、B各彩色光的光源(8、9、10)配置于不同的仰角方向上，示教时对包含钎焊部位在内的图像区域，用存储器(13)存储的调整倍率对R、G、B的各灰度进行调整之后，从该调整处理之后的各灰度中去除分别与白色分量对应的灰度。再对该白色分量去除处理之后的图像进行修正，使得最优势的色分量比去除处理之前更得到强调，并且恢复处理之前的图像亮度，然后在CRT显示单元(20)进行显示。

公开(公告)号：CN1272626C

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：CN02154361.5

申请日：2002-11-26

申请人： 欧姆龙株式会社

发明人： 鴛海明 ,  藤井良樹 ,  藤田有人

IPC分类号： G01N21/956 ,  G01N21/88

CPC分类号： G01R31/309 ,  G01N21/274 ,  G01N21/95684 ,  G01N2021/95638 ,  G01N2021/95646

摘要： 本发明的曲面体表面状态检查方法及基板检查装置，即使是在以具有漫反射性的曲面体作为认识对象的情况下，也能够进行稳定的检查。该基板检查装置具备投光单元(4)，该投光单元的发出R、G、B各彩色光的光源(8、9、10)配置于不同的仰角方向上，示教时对包含钎焊部位在内的图像区域，用存储器(13)存储的调整倍率对R、G、B的各灰度进行调整之后，从该调整处理之后的各灰度中去除分别与白色分量对应的灰度。再对该白色分量去除处理之后的图像进行修正，使得最优势的色分量比去除处理之前更得到强调，并且恢复处理之前的图像亮度，然后在CRT显示单元(20)进行显示。