公开(公告)号：CN107430977B

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201680010132.X

申请日：2016-02-15

Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 ,  普费菲孔

Inventor： D-J·金 ,  C·科普林格 ,  A·维斯特 ,  J·贝克

IPC: H01J37/32 ,  C23C14/50 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明描述了一种使用夹具系统的方法以及用于保持待借助于等离子体辅助真空工艺进行处理的工件或部件的夹具系统，所述夹具系统包括磁性装置，所述磁性装置产生磁场，所述磁场具有足够高以便保持所述工件或部件的磁力，其特征在于，所述夹具系统的所述磁性装置被设计并设置成使得所产生的磁场的磁场线至少主要地被限于包括所述夹具系统和所述工件或部件的本体的空间，从而避免了产生由所述磁场线引起的无意的等离子体非均匀性。

公开(公告)号：CN107430977A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680010132.X

申请日：2016-02-15

Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 ,  普费菲孔

Inventor： D-J·金 ,  C·科普林格 ,  A·维斯特 ,  J·贝克

IPC: H01J37/32 ,  C23C14/50 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明描述了一种使用夹具系统的方法以及用于保持待借助于等离子体辅助真空工艺进行处理的工件或部件的夹具系统，所述夹具系统包括磁性装置，所述磁性装置产生磁场，所述磁场具有足够高以便保持所述工件或部件的磁力，其特征在于，所述夹具系统的所述磁性装置被设计并设置成使得所产生的磁场的磁场线至少主要地被限于包括所述夹具系统和所述工件或部件的本体的空间，从而避免了产生由所述磁场线引起的无意的等离子体非均匀性。