公开(公告)号：CN119256112A

公开(公告)日：2025-01-03

申请号：CN202380035472.8

申请日：2023-04-20

Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 ,  普费菲孔

Inventor： S·克拉斯尼策 ,  J·格温伯格 ,  J·哈格曼 ,  M·施密德 ,  D·E·威德默 ,  M·P·柯尔克 ,  J·克劳迪 ,  S·吉蒙德 ,  J·康尼夫

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35 ,  C23C14/50 ,  C23C16/44 ,  H01J37/34 ,  C23C14/56 ,  H01J37/32

Abstract: 一种用于涂覆部件的设备。该设备包括腔室。第一磁控管和第二磁控管设置在腔室内，用于将涂覆材料供应到部件的表面。部件保持器设置在腔室内并且构造成保持部件。第一磁控管和第二磁控管构造成邻近由部件保持器保持的部件的表面定位和定向，并且第一磁控管和第二磁控管构造成相对于部件保持器移动，或者部件保持器构造成在部件的涂覆期间相对于第一磁控管和第二磁控管移动。

公开(公告)号：CN116635565A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202180072554.0

申请日：2021-10-19

Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 ,  普费菲孔

Inventor： S·克拉斯尼策 ,  S·吉蒙德 ,  J·凯劳迪 ,  J·康尼夫 ,  M·P柯克

IPC: C23C14/08

Abstract: 本发明涉及一种制品，所述制品包括：‑基体；‑覆盖至少部分基体的保护膜，所述膜包括氟化金属氧化物，所述氟化金属氧化物包含元素周期系第III族和/或第IV族元素的一种或多种元素，其特征在于所述保护膜包括具有碳掺杂的氟化金属氧化物，其中碳浓度不低于0.1at％且不高于10at％，优选不低于0.5at％，且更优选不高于2.5at％，其中所述制品为等离子体蚀刻室组件和/或部件，且优选为由静电吸盘、环、工艺套环、单环、室壁、淋浴头、喷嘴、盖子、衬垫、窗、挡板或紧固件形成的组的制品。