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公开(公告)号：CN118604929A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410764811.2
申请日：2024-06-14
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明公开了一种微透镜阵列扩散片结构及其制备方法，扩散片表面为100％填充率的凸透镜微透镜阵列，微透镜阵列子透镜轮廓形状统一、各子透镜顶点间相对高度在一定范围内随机分布，最小结构单元边界呈周期性。该扩散片的设计方法包括微透镜阵列基本单元设计，微透镜阵列高度随机分布处理，利用设计自由、易于加工的3D光刻设备制备微透镜阵列扩散片模板，以及可选的利用纳米压印技术将扩散片结构转印到其他压印材料上。该结构可使透射过其的激光光束在一定角度内传播，并利用其高度随机分布的特点消除干涉条纹，提高光斑能量分布的均匀性。
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公开(公告)号：CN117471849A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311530514.3
申请日：2023-11-14
申请人： 武汉大学
IPC分类号： G03F7/00
摘要： 本发明公开了一种无损伤纳米压印转印方法及其应用，属于微纳加工技术领域。本方法包括如下步骤：(1)以正性光刻胶为模板材料，制作纳米压印模板图案；(2)所述纳米压印模板图案的空隙由不溶解于碱性溶液的转印材料完成填充，得到填充胶板；(3)所述填充胶板中的转印材料进行成型，利用紫外光对模板材料进行辐照，得到碱溶性胶板；(4)所述碱溶性胶板浸于碱性溶液，使模板材料完全溶解，得到转印结构图案，完成纳米压印转印。本发明采用溶解法脱模转印，避免了图样与模板间的转印缺陷，实现了无应力、无损伤的纳米压印转印，用于微纳加工领域，可实现高精度、无损的转印流程，应用前景广阔。
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公开(公告)号：CN115145107A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210879116.1
申请日：2022-07-25
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明提供一种基于表面微纳结构产生光学和疏水性能的投影幕布及制备方法，投影幕布包括：PDMS柔性基底；微米级凹形反射镜阵列，形成于PDMS柔性基底的下层，包括多个间隔设置的凹形反射镜；多个纳米级沟槽疏水结构，形成于PDMS柔性基底的上层，每个纳米级沟槽疏水结构均对应于相邻的两个凹形反射镜之间，并且分别包括相间隔设置的多个沟槽和多个凸起。制备方法包括采用激光直写3D光刻技术将投影幕布结构制备到光刻胶上；基于光刻胶的结构制备PDMS模具；将PDMS模具的结构特征转印至PDMS柔性基底上；在柔性基底表面磁控溅射镀银投影幕布。本发明利用微形凹反射镜阵列和纳米级沟槽疏水结构，使投影幕布具有153.7°水滴接触角、2.1°水滴滚动角、增益倍数达到了2.32。
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公开(公告)号：CN112032078A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010741650.7
申请日：2020-07-29
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明公开了一种主动式高效控温的射流喷管冷却系统，包括多级气流降温网、中轴、动叶、滚动轴承、轴套、隔片以及轴盖；中轴分为气流降温网安装段与动叶安装段，其中中轴的气流降温网段安装有多级可拆卸式气流降温网；中轴的动叶安装段安装有动叶、轴套、若干个并排布置的滚动轴承、隔片及轴盖。本发明将入口处温度较高的热空气气流转变为温度较低、令人体感到舒适的凉风，用户可以根据需求实现对出口气流温度的调节；该射流喷管冷却系统结构灵活、成本较低，可以有效地提高传统家用电风扇应用于较高温度环境下的工作效率。
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公开(公告)号：CN115145107B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202210879116.1
申请日：2022-07-25
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明提供一种基于表面微纳结构产生光学和疏水性能的投影幕布及制备方法，投影幕布包括：PDMS柔性基底；微米级凹形反射镜阵列，形成于PDMS柔性基底的下层，包括多个间隔设置的凹形反射镜；多个纳米级沟槽疏水结构，形成于PDMS柔性基底的上层，每个纳米级沟槽疏水结构均对应于相邻的两个凹形反射镜之间，并且分别包括相间隔设置的多个沟槽和多个凸起。制备方法包括采用激光直写3D光刻技术将投影幕布结构制备到光刻胶上；基于光刻胶的结构制备PDMS模具；将PDMS模具的结构特征转印至PDMS柔性基底上；在柔性基底表面磁控溅射镀银投影幕布。本发明利用微形凹反射镜阵列和纳米级沟槽疏水结构，使投影幕布具有153.7°水滴接触角、2.1°水滴滚动角、增益倍数达到了2.32。
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公开(公告)号：CN112032078B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202010741650.7
申请日：2020-07-29
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明公开了一种主动式高效控温的射流喷管冷却系统，包括多级气流降温网、中轴、动叶、滚动轴承、轴套、隔片以及轴盖；中轴分为气流降温网安装段与动叶安装段，其中中轴的气流降温网段安装有多级可拆卸式气流降温网；中轴的动叶安装段安装有动叶、轴套、若干个并排布置的滚动轴承、隔片及轴盖。本发明将入口处温度较高的热空气气流转变为温度较低、令人体感到舒适的凉风，用户可以根据需求实现对出口气流温度的调节；该射流喷管冷却系统结构灵活、成本较低，可以有效地提高传统家用电风扇应用于较高温度环境下的工作效率。
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公开(公告)号：CN118888513A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202410959912.5
申请日：2024-07-17
申请人： 武汉大学
IPC分类号： H01L21/768 , H01L23/538
摘要： 本申请涉及半导体封装技术领域，具体公开了一种降低铜基硅通孔热应力的填充方法，其包括S1：制作掩膜层和在基底材料表面制作出孔；S2：在孔内依次沉积绝缘层和阻挡层；S3：在阻挡层上溅射负膨胀系数材料作为缓冲层；S4：在缓冲层上沉积铜种子层，再通过电镀法制备铜填充层将孔填充；S5：抛光去除基底材料表面多余的金属。本申请利用负热膨胀系数材料的热缩冷胀物理特性作为缓冲，抵消硅和铜的热胀冷缩，从而降低铜和周围硅结构的热应力。
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公开(公告)号：CN117594527A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311580089.9
申请日：2023-11-23
申请人： 武汉大学
IPC分类号： H01L21/768
摘要： 本发明公开了一种利用激光辐照金属纳米颗粒进行通孔填充的方法，包括：利用光刻工艺和刻蚀工艺在基板表面刻蚀出通孔；在通孔内先后形成绝缘层和阻挡层；在保护气氛围下，在基板上表面和通孔内填充金属纳米颗粒，利用飞秒激光辐照金属纳米颗粒时的热压效应，使金属纳米颗粒相互团聚熔合互连，从而实现通孔的填充；再利用化学机械抛光去除多余的金属。该方法是一种干法金属化的方法，通过该方法可以不用制作电镀法所需的种子层，并且实现快速填充。
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公开(公告)号：CN112113450A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202010976031.6
申请日：2020-09-16
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明公开了一种用于航天电子散热的振荡复合式毛细芯均热板结构，其特征在于，包括管壳、振荡热管组和多孔泡沫金属吸液芯，所述管壳的两端口分别配置上盖板和下盖板；上盖板、下盖板和管壳围合形成封闭的蒸汽腔；所述管壳或上盖板上开设有向蒸汽腔注入自湿润流体的注液口；所述振荡热管组为闭式环状结构，布置在设于蒸汽腔内，振荡热管组的下端固定在下盖板上，振荡热管组的两侧部与管壳内壁紧贴，形成凹凸面；所述多孔泡沫金属吸液芯填充在振荡热管组的内部。本发明的有益效果为：气液流动阻力小，使气液两相具有最佳的分流运输路径，均温性能优越，避免液体局部干涸堵塞，不受重力影响，适用于太空失重环境下的航空电子器件散热。
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公开(公告)号：CN110274649A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910509847.5
申请日：2019-06-13
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明公开了一种基于MEMS技术的热温差型流量传感器及其制备方法，该传感器包括：热敏元件，导热硅脂，绝热隔板，电热丝，耐高温管；耐高温管的中心设有容线层、安装层与流体通道；电热丝布置在安装层下表面上，两个热敏元件固定在流体通道下表面上；层壁面上设有引线孔，热敏元件和电热丝的引线穿过引线孔，同时确保容线层固定；本发明的热温差型流量传感器的特点是可调整灵敏度与流速测量量程，提高了现有的热式流量传感器的精度，解决了传感器无法在高温高压环境下完成精确测量的问题；该MEMS热温差型流量传感器结构灵活、成本较低、检测结果精度高，并集合了电热丝及相关热敏元件，能够有效应用于高温高压的极端复杂的测量环境。
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