一种气体流量光纤光栅传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN118443096A

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202410293155.2

    申请日:2024-03-14

    IPC分类号: G01F1/34 G01D5/26

    摘要: 本发明涉及一种气体流量光纤光栅传感器及其制作方法,包括传感器壳体、敏感膜片和光纤,传感器壳体设有流体通道和与流体通道间隔布设的安装腔,流体通道包括沿流动方向依次连接的第一段和第二段,第一段和第二段内的流体存在压差;敏感膜片设于安装腔内,以将安装腔分割为第一腔室和第二腔室,第一腔室连通第一段,第二腔室连通第二段;光纤穿设于第二腔室,光纤具有间隔设置的流量光栅和温度光栅,流量光栅固定于敏感膜片,温度光栅固定于第二腔室的侧壁。本发明温度光栅补偿了流量光栅因温度影响导致的应力测量误差,同时还具有高精度温度测量的作用,如此即可保障流体流量计算的高精度。