公开(公告)号：CN116995125A

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202311012290.7

申请日：2023-08-11

申请人： 武汉鲲鹏微纳光电有限公司

发明人： 黄立 ,  黄晟 ,  尹魏玲 ,  汪超 ,  王春水 ,  高健飞 ,  蒋文杰 ,  赵祺

IPC分类号： H01L31/101 ,  H01L31/024 ,  H01L31/18

摘要： 本发明涉及一种双色探测器及其制备方法，其包括：衬底，其含有用于对光信号进行处理的信号处理电路；支撑层，其设置于所述信号处理电路的上表面；红外吸收层，其与所述支撑层之间形成有谐振腔；红外热敏层，其设置在所述红外吸收层的上表面；红外电极，其与所述红外热敏层接触，且与衬底中的信号处理电路电连接；紫外光敏层，其设置于所述红外电极上方；以及紫外电极，其连接所述紫外光敏层，且同时与所述衬底中的信号处理电路电连接将红外热敏层、紫外光敏层垂直集成于同一像素内，且通过隔热腔的设置避免紫外光敏层、红外热敏层因发热导致的信号串扰，可大幅降低探测器像元中心距和双色探测器系统体积。

公开(公告)号：CN117023503A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202311012059.8

申请日：2023-08-11

申请人： 武汉鲲鹏微纳光电有限公司

发明人： 黄立 ,  黄晟 ,  叶帆 ,  江致兴 ,  王春水 ,  汪超 ,  蒋文杰 ,  方明

IPC分类号： B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01J5/12

摘要： 本发明涉及半导体技术领域，具体为一种红外增透膜层结构、制备方法以及非制冷红外探测器，通过堆叠设置的叠层红外增透膜结构，能够在保证红外探测器红外光高透过率的同时，又能够对面阵级封装结构腔体进行良好的密封，防止腔体内与外部气体之间的扩散，保证红外探测器的检测性能。

公开(公告)号：CN220602728U

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202322162804.9

申请日：2023-08-11

申请人： 武汉鲲鹏微纳光电有限公司

发明人： 黄立 ,  黄晟 ,  江致兴 ,  叶帆 ,  王春水 ,  汪超 ,  蒋文杰 ,  王嘉威

IPC分类号： G01J5/10 ,  B81B7/00 ,  B81B7/02

摘要： 本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种面阵级封装非制冷红外探测器，包括：衬底；像元微桥结构，其位于所述衬底上，所述像元微桥结构包括锚柱以及由所述锚柱支撑的桥面，所述锚柱具有孔，所述孔内填充有金属支撑柱；腔体，所述腔体盖封于所述衬底上，且所述腔体部分支撑在填充后的所述锚柱上。基于高填充率填孔工艺方法，在需要填充的孔底部先沉积种子层材料，通过电镀的方式，从孔底逐步向上电镀金属膜层，达到高填充率、高可靠性的填孔方案。