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    用于复合气体工艺的芯体系
    3.
    发明公开
    用于复合气体工艺的芯体系 失效

    公开(公告)号：CN101329010A

    公开(公告)日：2008-12-24

    申请号：CN200810131499.4

    申请日：2008-04-30

    申请人： 气体产品与化学公司

    发明人： W·T·麦克德莫特 ,  D·J·坦佩尔 ,  P·B·亨德森 ,  R·M·珀尔斯坦

    IPC分类号： F17C11/00 ,  F17C13/00

    CPC分类号： F17C11/00 ,  Y10T137/0396

    摘要： 本发明涉及用于复合气体工艺的芯体系。本发明涉及用于实现气体贮存和输送的装置和方法的改进。贮存和输送装置包括存储和分配容器，该容器包含介质，该介质能够存储气体并允许存储在该介质中的气体从所述容器输送，改进包括：(a)具有Lewis酸性或碱性的反应性液体；(b)在压力和温度条件下，将具有Lewis酸性的气体与具有Lewis碱性的反应性液体，或具有Lewis碱性的气体与具有Lewis酸性的反应性液体接触，形成在可逆反应状态中的气液复合物；(c)承载并分散其中的反应性液体和气液复合物的非反应性芯介质。

    用于实现气体贮存和输送的装置和方法
    6.
    发明授权
    用于实现气体贮存和输送的装置和方法 失效

    公开(公告)号：CN101329010B

    公开(公告)日：2012-01-18

    申请号：CN200810131499.4

    申请日：2008-04-30

    申请人： 气体产品与化学公司

    发明人： W·T·麦克德莫特 ,  D·J·坦佩尔 ,  P·B·亨德森 ,  R·M·珀尔斯坦

    IPC分类号： F17C11/00 ,  F17C13/00

    CPC分类号： F17C11/00 ,  Y10T137/0396

    摘要： 本发明涉及用于复合气体工艺的芯体系。本发明涉及用于实现气体贮存和输送的装置和方法的改进。贮存和输送装置包括存储和分配容器，该容器包含介质，该介质能够存储气体并允许存储在该介质中的气体从所述容器输送，改进包括：(a)具有Lewis酸性或碱性的反应性液体；(b)在压力和温度条件下，将具有Lewis酸性的气体与具有Lewis碱性的反应性液体，或具有Lewis碱性的气体与具有Lewis酸性的反应性液体接触，形成在可逆反应状态中的气液复合物；(c)承载并分散其中的反应性液体和气液复合物的非反应性芯介质。

    就产生颗粒的杂质对反应性气体例如硅烷进行分析
    7.
    发明公开
    就产生颗粒的杂质对反应性气体例如硅烷进行分析 无效

    公开(公告)号：CN101071097A

    公开(公告)日：2007-11-14

    申请号：CN200710101167.7

    申请日：2007-05-09

    申请人： 气体产品与化学公司

    发明人： P·J·马罗利斯 ,  S·N·克特卡 ,  W·T·麦克德莫特

    IPC分类号： G01N15/00 ,  H01L21/00

    CPC分类号： C23C16/4402 ,  G01N1/2205 ,  G01N2001/105

    摘要： 公开了改进的供给处理装置气体的方法，所述气体包含至少一种能起反应和/或成核形成悬浮于气体中的污染性颗粒的杂质。该改进包括用粒子计数器和/或颗粒俘获过滤器采样处理装置上游的气流，以检测该气流中污染性颗粒的量，和当颗粒的量超过预定量时产生信号。实施该方法的装置包括：供应源；至少一种处理工具；放置在处理工具上游和供应源下游的颗粒计数器；与至少所述颗粒计数器电连接的微处理器；和任选地，与颗粒计数器并联的粒子俘获过滤器。所述方法和装置可用于制备集成电路。