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公开(公告)号：CN103811248B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201410083953.9
申请日：2011-03-17
申请人： 汉辰科技股份有限公司
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/317
CPC分类号： C23C14/48 , H01J37/09 , H01J37/3171 , H01J2237/0455 , H01J2237/24542 , H01J2237/31711
摘要： 本发明提供一种利用一离子束以及一可变孔隙在一衬底的不同部分上以不同的离子掺杂量进行离子注入的方法，用以先改变离子束形状，特别是在衬底附近改变离子束的最终形状，然后再以成形后离子束来对衬底进行离子注入。因此，衬底的不同部分或是不同的衬底，可在不使用公知通过多个固定孔隙或是每次都要重新调整离子束等方法的情况下，分别通过不同的成形后离子束来进行离子注入。换句话说，不需要高成本与复杂的操作步骤，即可达成分别通过特制离子束来进行不同离子注入的目的。另外，相较于现有技术，由于可变孔隙的调整可通过机械操作而易于达成，故能加速离子束调整过程，以获得进行离子注入的一特定离子束的离子束调整过程。
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公开(公告)号：CN103824744A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201410083952.4
申请日：2011-03-17
申请人： 汉辰科技股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： C23C14/48 , H01J37/09 , H01J37/3171 , H01J2237/0455 , H01J2237/24542 , H01J2237/31711
摘要： 本发明提供一种在一衬底上利用一离子束以及一可变孔隙来进行离子注入的方法，用以先改变离子束形状，特别是在衬底附近改变离子束的最终形状，然后再以成形后离子束来对衬底进行离子注入。因此，衬底的不同部分或是不同的衬底，可在不使用公知通过多个固定孔隙或是每次都要重新调整离子束等方法的情况下，分别通过不同的成形后离子束来进行离子注入。换句话说，不需要高成本与复杂的操作步骤，即可达成分别通过特制离子束来进行不同离子注入的目的。另外，相较于现有技术，由于可变孔隙的调整可通过机械操作而易于达成，故能加速离子束调整过程，以获得进行离子注入的一特定离子束的离子束调整过程。
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公开(公告)号：CN102208320A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110072190.4
申请日：2011-03-17
申请人： 汉辰科技股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： C23C14/48 , H01J37/09 , H01J37/3171 , H01J2237/0455 , H01J2237/24542 , H01J2237/31711
摘要： 一种具有可变孔隙的孔隙调整装置，用以先改变离子束形状，特别是在衬底附近改变离子束的最终形状，然后再以成形后离子束来对衬底进行离子注入。因此，衬底的不同部分或是不同的衬底，可在不使用公知通过多个固定孔隙或是每次都要重新调整离子束等方法的情况下，分别通过不同的成形后离子束来进行离子注入。换句话说，不需要高成本与复杂的操作步骤，即可达成分别通过特制离子束来进行不同离子注入的目的。另外，相较于现有技术，由于可变孔隙的调整可通过机械操作而易于达成，故能加速离子束调整过程，以获得进行离子注入的一特定离子束的离子束调整过程。
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公开(公告)号：CN102212793B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201110072168.X
申请日：2011-03-17
申请人： 汉辰科技股份有限公司
IPC分类号： C23C14/48
CPC分类号： C23C14/48 , H01L21/26513 , H01L21/26593 , H01L21/324
摘要： 本发明提供了可增进低温离子注入的产量的技术。在低温离子注入时，注入程序可在冷却程序使衬底温度降至大约为一预定注入温度前开始，而加热程序可在注入程序完成前开始升高衬底的温度。此外，可在注入程序中一部分期间或多个部分期间进行一或多个温度调整程序，以便于注入过程中，使衬底温度可控制地高于预定注入温度。
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公开(公告)号：CN103834925A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201410085914.2
申请日：2011-03-17
申请人： 汉辰科技股份有限公司
IPC分类号： C23C14/48
CPC分类号： C23C14/48 , H01L21/26513 , H01L21/26593 , H01L21/324
摘要： 本发明提供了可增进低温离子注入的产量的技术。在低温离子注入时，注入程序可在冷却程序使衬底温度降至大约为一预定注入温度前开始，而加热程序可在注入程序完成前开始升高衬底的温度。此外，可在注入程序中一部分期间或多个部分期间进行一或多个温度调整程序，以便于注入过程中，使衬底温度可控制地高于预定注入温度。
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公开(公告)号：CN103834925B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410085914.2
申请日：2011-03-17
申请人： 汉辰科技股份有限公司
IPC分类号： C23C14/48
CPC分类号： C23C14/48 , H01L21/26513 , H01L21/26593 , H01L21/324
摘要： 本发明提供了可增进低温离子注入的产量的技术。在低温离子注入时，注入程序可在冷却程序使衬底温度降至大约为一预定注入温度前开始，而加热程序可在注入程序完成前开始升高衬底的温度。此外，可在注入程序中一部分期间或多个部分期间进行一或多个温度调整程序，以便于注入过程中，使衬底温度可控制地高于预定注入温度。
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公开(公告)号：CN103811248A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410083953.9
申请日：2011-03-17
申请人： 汉辰科技股份有限公司
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/317
CPC分类号： C23C14/48 , H01J37/09 , H01J37/3171 , H01J2237/0455 , H01J2237/24542 , H01J2237/31711
摘要： 本发明提供一种利用一离子束以及一可变孔隙在一衬底的不同部分上以不同的离子掺杂量进行离子注入的方法，用以先改变离子束形状，特别是在衬底附近改变离子束的最终形状，然后再以成形后离子束来对衬底进行离子注入。因此，衬底的不同部分或是不同的衬底，可在不使用公知通过多个固定孔隙或是每次都要重新调整离子束等方法的情况下，分别通过不同的成形后离子束来进行离子注入。换句话说，不需要高成本与复杂的操作步骤，即可达成分别通过特制离子束来进行不同离子注入的目的。另外，相较于现有技术，由于可变孔隙的调整可通过机械操作而易于达成，故能加速离子束调整过程，以获得进行离子注入的一特定离子束的离子束调整过程。
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公开(公告)号：CN102212793A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201110072168.X
申请日：2011-03-17
申请人： 汉辰科技股份有限公司
IPC分类号： C23C14/48
CPC分类号： C23C14/48 , H01L21/26513 , H01L21/26593 , H01L21/324
摘要： 本发明提供了可增进低温离子注入的产量的技术。在低温离子注入时，注入程序可在冷却程序使衬底温度降至大约为一预定注入温度前开始，而加热程序可在注入程序完成前开始升高衬底的温度。此外，可在注入程序中一部分期间或多个部分期间进行一或多个温度调整程序，以便于注入过程中，使衬底温度可控制地高于预定注入温度。
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