一种直写式丝网制版设备的曝光方法

    公开(公告)号:CN106647184B

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201611267959.7

    申请日:2016-12-31

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种直写式丝网制版设备及其使用方法,现有技术中,存在因装配位移传感器和曝光点之间位置偏移而导致测量的焦面和实际焦面不一致的问题。本发明提供的直写式丝网制版设备和焦面控制方法利用一个Z轴控制器预先建立下一步需要扫描的扫描带的焦面位置和扫描平台位置信号之间的映射关系,在下一步扫描时,根据这个映射关系调整光学镜头位置,避免了因装配位移传感器和光学镜头之间位置偏离而导致测量的焦面和实际焦面不一致的问题。本发明还提供了一种利用感兴区域曝光的方法和一种在线实时光均匀性补偿的方法,解决了数字微镜器件寿命延长和数字微镜器件上能量输出分布不均匀的问题。

    一种直写式丝网制版设备及其使用方法

    公开(公告)号:CN106647184A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201611267959.7

    申请日:2016-12-31

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种直写式丝网制版设备及其使用方法,现有技术中,存在因装配位移传感器和曝光点之间位置偏移而导致测量的焦面和实际焦面不一致的问题。本发明提供的直写式丝网制版设备和焦面控制方法利用一个Z轴控制器预先建立下一步需要扫描的扫描带的焦面位置和扫描平台位置信号之间的映射关系,在下一步扫描时,根据这个映射关系调整光学镜头位置,避免了因装配位移传感器和光学镜头之间位置偏离而导致测量的焦面和实际焦面不一致的问题。本发明还提供了一种利用感兴区域曝光的方法和一种在线实时光均匀性补偿的方法,解决了数字微镜器件寿命延长和数字微镜器件上能量输出分布不均匀的问题。

    一种激光直写设备中的精密单轴机构

    公开(公告)号:CN205958925U

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201620855097.9

    申请日:2016-08-09

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本实用新型涉及丝网制版设备上的激光直写系统(DIS),具体涉及一种激光直写设备中的精密单轴机构。传统的单轴机构一般采用双导轨加丝杠结构,这种结构行存在结构复杂以及装配、维护、调试过程困难等缺点。本实用新型采用单轨导向,丝杆传动的方式,在保证机构的结构刚度的同时,极大地优化了机构的行走直线度,还简化了设备的结构,降低了制造成本;节省了设备空间,降低了调试以及维护的难度。

    一种DIS系统夹具
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205950539U

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201620855098.3

    申请日:2016-08-09

    IPC分类号: B25B5/02 B25B5/14

    摘要: 本实用新型涉及一种DIS系统夹具,包括安装底板,位于安装底板边部的定位块,还包含直线导轨、型材以及连杆;直线导轨与型材互相平行并且均固定在安装底板上;连杆滑动配合在直线导轨上,连杆上还安装有可以下压的压板机构,具体涉及激光直写系统(DIS)中的一种夹具。本实用新型可以适应不同大小的网板,具有操作方便、定位快捷、固定牢靠的优点。

    激光直写丝网印刷设备
    5.
    外观设计

    公开(公告)号:CN304977005S

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201830090328.6

    申请日:2018-03-12

    摘要: 1.本外观设计产品的名称:激光直写丝网印刷设备。
    2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品用于印刷线路板、丝网印刷产品的生产制造。
    3.本外观设计产品的设计要点:整体外观形状。
    4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片:立体图。

    激光器
    6.
    外观设计

    公开(公告)号:CN304705717S

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201830090879.2

    申请日:2018-03-12

    摘要: 1.本外观设计产品的名称:激光器。
    2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品用于产生激光光源,应用于印刷线路板直写曝光设备或丝网印刷直线曝光设备中。
    3.本外观设计产品的设计要点:整体外观形状。
    4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片:立体图。