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公开(公告)号：CN106647184A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611267959.7
申请日：2016-12-31
申请人： 江苏九迪激光装备科技有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种直写式丝网制版设备及其使用方法，现有技术中，存在因装配位移传感器和曝光点之间位置偏移而导致测量的焦面和实际焦面不一致的问题。本发明提供的直写式丝网制版设备和焦面控制方法利用一个Z轴控制器预先建立下一步需要扫描的扫描带的焦面位置和扫描平台位置信号之间的映射关系，在下一步扫描时，根据这个映射关系调整光学镜头位置，避免了因装配位移传感器和光学镜头之间位置偏离而导致测量的焦面和实际焦面不一致的问题。本发明还提供了一种利用感兴区域曝光的方法和一种在线实时光均匀性补偿的方法，解决了数字微镜器件寿命延长和数字微镜器件上能量输出分布不均匀的问题。
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公开(公告)号：CN106527057B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201611262958.3
申请日：2016-12-30
申请人： 江苏九迪激光装备科技有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种适用于曲面手机玻璃的激光直写系统，用于在同时具有平面结构和曲面结构的曲面手机玻璃上进行图形曝光。所述激光直写系统包括主机、运动系统、线阵电荷耦合元件、至少三个到位传感器、至少两个数据处理模块及相应数量的空间光调制器和曝光镜头、至少两个聚焦模块、光源控制模块以及光源；所述数据处理模块和所述聚焦模块的数量相同。本发明通过对曲面手机玻璃的曲面部分和平面部分分别聚焦曝光的方式，实现对具有高低变化的曲面手机玻璃的图形曝光，曝光方式简单便捷，生产率高，成本低，良率高；此外，通过设定焦面和改变光源波长，实现了现有技术无法处理黑色光刻胶的问题。
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公开(公告)号：CN106647184B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201611267959.7
申请日：2016-12-31
申请人： 江苏九迪激光装备科技有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种直写式丝网制版设备及其使用方法，现有技术中，存在因装配位移传感器和曝光点之间位置偏移而导致测量的焦面和实际焦面不一致的问题。本发明提供的直写式丝网制版设备和焦面控制方法利用一个Z轴控制器预先建立下一步需要扫描的扫描带的焦面位置和扫描平台位置信号之间的映射关系，在下一步扫描时，根据这个映射关系调整光学镜头位置，避免了因装配位移传感器和光学镜头之间位置偏离而导致测量的焦面和实际焦面不一致的问题。本发明还提供了一种利用感兴区域曝光的方法和一种在线实时光均匀性补偿的方法，解决了数字微镜器件寿命延长和数字微镜器件上能量输出分布不均匀的问题。
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公开(公告)号：CN106527057A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201611262958.3
申请日：2016-12-30
申请人： 江苏九迪激光装备科技有限公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/2053 , G03F7/70383 , G03F7/70508
摘要： 本发明公开了一种适用于曲面手机玻璃的激光直写系统，用于在同时具有平面结构和曲面结构的曲面手机玻璃上进行图形曝光。所述激光直写系统包括主机、运动系统、线阵电荷耦合元件、至少三个到位传感器、至少两个数据处理模块及相应数量的空间光调制器和曝光镜头、至少两个聚焦模块、光源控制模块以及光源；所述数据处理模块和所述聚焦模块的数量相同。本发明通过对曲面手机玻璃的曲面部分和平面部分分别聚焦曝光的方式，实现对具有高低变化的曲面手机玻璃的图形曝光，曝光方式简单便捷，生产率高，成本低，良率高；此外，通过设定焦面和改变光源波长，实现了现有技术无法处理黑色光刻胶的问题。
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公开(公告)号：CN206370608U
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201621486255.4
申请日：2016-12-31
申请人： 江苏九迪激光装备科技有限公司
发明人： 董辉 , 陈修涛 , 吴景舟 , 其他发明人请求不公开姓名
摘要： 本实用新型涉及紫外光产生设备，具体涉及一种多路耦合激光器。目前的各个激光管与激光器控制板之间使用逐路焊接插口然后依次按单线插接的方式进行连接。本实用新型在激光器控制板上内置数据接口，将激光器控制板上的激光器控制单元集中引往内置数据接口，然后通过单路PCB转接板将所有的激光管接入PCB转接母板，最后用数据线将PCB转接母板接入激光器控制板上的内置数据接口，并且PCB转接母板将激光管两两串联后接入激光器控制板。本实用新型改变了激光器控制板的传统制造以及安装模式，提高了激光器的组装以及工作效率，也方便了后续的检修和维护，同时也降低了激光器的发热。
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公开(公告)号：CN206322150U
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201621486271.3
申请日：2016-12-31
申请人： 江苏九迪激光装备科技有限公司
发明人： 董辉 , 陈修涛 , 吴景舟 , 李泽忠 , 其他发明人请求不公开姓名
摘要： 本实用新型涉及激光直写设备，具体涉及一种激光直写设备中的数据处理模块。目前的数据处理模块数据处理能力有限，需要外接一个从机来协助处理相关过程。由于外接从机的加入，增加了设备量，加大了成本投入，同时也增加了故障点，加大了维护难度。并且从机的工作难度大，对数据的实时处理效果差，工作效率相对不高。本实用新型在数据处理模块中集成了一个FPGA芯片和一个逻辑计算单元LCU，代替了外接从机，同等条件下，减少了设备量，降低了设备的复杂度，减少了设备投入，同时也提高了设备的工作效率。
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