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公开(公告)号：CN110690319B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201910815065.4
申请日：2019-08-30
申请人： 江苏顺风新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18
摘要： 本发明涉及一种高效单晶硅电池的氧化退火工艺，包括以下步骤，1)进舟；2)升温；3)炉管抽真空并检漏；4)氧化；5)恒温退火，在压力100‑150mbar，温度680‑710℃下维持15‑20min的退火并通入氮气5000‑10000sccm；6)降温退火，在压力100‑150mbar，温度620‑650℃下维持15‑20min的退火并通入氮气10000‑20000sccm；7)充气回压；8)出舟，结束工艺。本发明将常压氧化退火改为低压氧化退火，并在退火过程中采用恒温退火以及降温退火，使得工艺过程中的气体氛围能够被精确控制，退火环境洁净也得到提高，使得电池片效率得到提升。
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公开(公告)号：CN109244184B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201811061490.0
申请日：2018-09-12
申请人： 江苏顺风新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/068
摘要： 本发明涉及一种双面氧化铝结构的PERC双面电池及其制备方法,包括硅片,硅片正面依次形成的二氧化硅层、正面氧化铝膜和减反膜；硅片背面依次形成有背面二氧化硅层、背面氧化铝膜、钝化膜和背电极。本发明的制备方法为：清洗、制绒；磷扩散制备pn结；背面抛光、刻蚀、去PSG；退火氧化；双面镀氧化铝膜；正面减反膜沉积；背面钝化膜沉积；激光开槽；丝网印刷、烧结。本发明克服了目前传统方法由于先沉积SiNx再镀氧化铝层所带来的绕镀问题，并能提高电池的转化效率。
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公开(公告)号：CN110690319A
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201910815065.4
申请日：2019-08-30
申请人： 江苏顺风新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18
摘要： 本发明涉及一种高效单晶硅电池的氧化退火工艺，包括以下步骤，1)进舟；2)升温；3)炉管抽真空并检漏；4)氧化；5)恒温退火，在压力100-150mbar，温度680-710℃下维持15-20min的退火并通入氮气5000-10000sccm；6)降温退火，在压力100-150mbar，温度620-650℃下维持15-20min的退火并通入氮气10000-20000sccm；7)充气回压；8)出舟，结束工艺。本发明将常压氧化退火改为低压氧化退火，并在退火过程中采用恒温退火以及降温退火，使得工艺过程中的气体氛围能够被精确控制，退火环境洁净也得到提高，使得电池片效率得到提升。
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公开(公告)号：CN110479691A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910691038.0
申请日：2019-07-29
申请人： 江苏顺风新能源科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种太阳能电池干花篮的清洗方法，包括以下步骤，1)将干花篮放入纯水中，进行鼓泡溢流清洗；2)清洗完成后将干花篮放入超声波槽体中，使用酒精与纯水的混合溶液，进行超声波清洗；3)超声波清洗后将干花篮放入纯水中，进行鼓泡溢流清洗；4)将上述水洗后干花篮进行干燥处理。本发明针对干花篮长时间容易藏污纳垢的地方，进行有效清洗，具有较好的清洗效果，能够杜绝由于长时间使用，干花篮卡槽处、衔接处等残留较多导致的EL发黑。
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公开(公告)号：CN109216474B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN201811152710.0
申请日：2018-09-29
申请人： 江苏顺风新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L31/0216 , H01L31/068 , H01L31/0236 , H01L31/18
摘要： 本发明涉及一种双氧化层PERC电池及其制备方法，包括单晶硅本体，单晶硅本体的绒面金字塔的表面具有复合氧化层；复合氧化层包括湿氧氧化层和干氧氧化层；湿氧氧化层设置于干氧氧化层的内侧；制备方法，包括以下步骤：1)将制绒清洗后的硅片放入扩散炉；2)向炉中分别通入氮气和氧气进行硅片绒面金字塔的干氧氧化；3)继续通入水蒸气，对硅片绒面金字塔进行湿氧氧化；4)在绒面金字塔表面形成复合氧化层；下层为湿氧氧化层，上层为干氧氧化层。采用本发明可以制备出没有尖锐的顶角和棱边的单晶硅形貌，降低缺陷态密度，提高少子寿命，从而提升电池转换效率，改善电池漏电；可为碱抛光提供掩膜保护，易去除，不需增加额外工序。
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公开(公告)号：CN110581183A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201910807138.5
申请日：2019-08-29
申请人： 江苏顺风新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L31/0216 , H01L31/04 , H01L31/18
摘要： 本发明涉及一种纯黑组件单晶PERC电池及其制备工艺，包括硅片本体以及设置在硅片本体正面和背面的膜层结构，制备工艺具有以下步骤，1)对单晶硅片进行前段工艺处理，直至硅片背面抛光结束；2)在硅片正面通过管式热氧化方式生长一层SiO2；3)采用ALD在硅片背面生长一层致密氧化铝；4)在硅片正面进行管式PECVD镀膜；5)在硅片背面进行管式PECVD镀膜；6)进行背面激光开槽、丝网印刷烧结、分选，最后进行黑背板层压，即得到全黑组件。本发明采用了ALD氧化铝单面钝化以及先正面镀膜再背面镀膜的工艺顺序，通过这些工艺优化增强了正面膜色的均匀性，降低了边缘绕镀情况，实现了黑背板层压后的纯黑组件的效果。
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公开(公告)号：CN115863480A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211515383.7
申请日：2022-11-30
申请人： 江苏顺风新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0288
摘要： 本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及背面多种元素掺杂的N型TOPCon太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：（1）双面制绒；（2）正面硼扩散；（3）背面BSG清洗；（4）隧穿氧化层制备；（5）本征多晶硅层制备：使用硅烷、氢气、二氧化碳和氩气进行制备，温度控制在200℃‑500℃；（6）多层n‑poly si的制备：形成4‑8层n‑poly硅，且每层n‑poly硅的掺杂浓度随着与本征多晶硅层距离的加大而越来越高；（7）mask氧化层掩膜制备。本案通过添加碳元素，降低多晶硅的吸光性、提高电流；同时碳元素有利于多层磷掺杂多晶硅的制备，实现浓度的梯度提升，从而提高FF，提升转换效率。
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公开(公告)号：CN110676347A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201910920404.5
申请日：2019-09-27
申请人： 江苏顺风新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/068
摘要： 本发明涉及一种提高黑组件良率的PERC电池生产控制方法，包括：1)在硅片正面通过管式热氧化方式生长一层SiO2；2)采用ALD在硅片背面生长一层致密氧化铝；3)在硅片正面进行管式PECVD镀膜；4)在硅片背面进行管式PECVD镀膜；5)进行背面激光开槽，正面丝网印刷烧结、分选，正面丝网印刷网版寿命≤50000次；7)通过电池片膜色测试分选装置，选取膜厚为70-80nm，正面细栅栅线平均宽度为40-50μm，光电转换效率为22.0％-22.1％的电池片；8)进行黑背板层压，即得到全黑组件。本发明提升了黑组件良率，降低了由于黑组件色差导致降级，极大程度的提高客户对黑组件满意度。
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公开(公告)号：CN109473366A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811165025.1
申请日：2018-10-07
申请人： 江苏顺风新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 本发明涉及一种用于检测太阳能电池背面银浆和铝浆接触电阻的方法，包括以下步骤，1)取成品电池片，采用激光切割的方式将电池片切割成固定长宽大小的测试片；2)采用四探针或欧姆表的测试方法，测量测试片电阻；3)将测试片在去离子水中进行水煮，水煮完后再按照步骤2)的方式再次测试电阻；4)通过水煮前和水煮后的两个接触电阻值来综合判定银铝合金层性能。本发明不仅可以直观的测试银铝合金的电阻，利于产线及时发现浆料性能是否有波动；而且操作简单，通过水煮实验后，测得的电阻可模拟组件在极端条件下的失效风险。
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公开(公告)号：CN109244184A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811061490.0
申请日：2018-09-12
申请人： 江苏顺风新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/068
摘要： 本发明涉及一种双面氧化铝结构的PERC双面电池及其制备方法,包括硅片,硅片正面依次形成的二氧化硅层、正面氧化铝膜和减反膜；硅片背面依次形成有背面二氧化硅层、背面氧化铝膜、钝化膜和背电极。本发明的制备方法为：清洗、制绒；磷扩散制备pn结；背面抛光、刻蚀、去PSG；退火氧化；双面镀氧化铝膜；正面减反膜沉积；背面钝化膜沉积；激光开槽；丝网印刷、烧结。本发明克服了目前传统方法由于先沉积SiNx再镀氧化铝层所带来的绕镀问题，并能提高电池的转化效率。
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