一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器

    公开(公告)号:CN106452165B

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201610988858.2

    申请日:2016-11-10

    Abstract: 本发明公开了一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器,包括驱动机构、2个箝位机构和动子组成,其中驱动机构由4个对称布置的驱动支链和1对定子组成,驱动支链由2个杠杆结构组成,驱动支链采用柔性铰链连接于定子,相对于定子能作往复微位移运动;箝位机构由对称布置的3对柔性铰链、1对杆件组和1对箝位片组成,2个箝位机构通过杆件对称连接于驱动机构两端;动子为细长圆柱形结构,置于微驱动器对称中心,通过孔与箝位机构配合,通过通槽与驱动机构配合,能在孔和通槽中运动。采用驱动机构驱动箝位机构进行往复运动,箝位机构带动动子作直线运动的运动形式仿生尺蠖运动规律。所设计的微驱动器可用于超精密加工、精密工程、微机电系统、生物工程、半导体制造等领域。

    一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器

    公开(公告)号:CN106452165A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610988858.2

    申请日:2016-11-10

    Abstract: 本发明公开了一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器,包括驱动机构、2个箝位机构和动子组成,其中驱动机构由4个对称布置的驱动支链和1对定子组成,驱动支链由2个杠杆结构组成,驱动支链采用柔性铰链连接于定子,相对于定子能作往复微位移运动;箝位机构由对称布置的3对柔性铰链、1对杆件组和1对箝位片组成,2个箝位机构通过杆件对称连接于驱动机构两端;动子为细长圆柱形结构,置于微驱动器对称中心,通过孔与箝位机构配合,通过通槽与驱动机构配合,能在孔和通槽中运动。采用驱动机构驱动箝位机构进行往复运动,箝位机构带动动子作直线运动的运动形式仿生尺蠖运动规律。所设计的微驱动器可用于超精密加工、精密工程、微机电系统、生物工程、半导体制造等领域。

    一种基于柔顺机构的尺蠖式精密旋转微驱动器

    公开(公告)号:CN110086374B

    公开(公告)日:2020-04-03

    申请号:CN201910376167.0

    申请日:2019-05-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于柔顺机构的尺蠖式精密旋转微驱动器,包括2个驱动机构、2个箝位机构、动子和支架;所述2个驱动机构结构相同,分别为第一驱动机构和第二驱动机构;所述2个箝位机构结构相同,分别为第一箝位机构和第二箝位机构;所述2个驱动机构位于两侧,2个箝位机构位于2个驱动机构之间;所述动子位于支架上,置于所述旋转微驱动器的对称中心,通过输出孔与各个机构相互配合;所述箝位机构可以夹紧或释放动子;夹紧时,动子跟随箝位机构一起旋转;释放时,动子自由运动。本发明所提供的微驱动器具有行程大、分辨率高、输出负载大、可双向运动等优点。

    一种基于柔顺机构的尺蠖式精密旋转微驱动器

    公开(公告)号:CN110086374A

    公开(公告)日:2019-08-02

    申请号:CN201910376167.0

    申请日:2019-05-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于柔顺机构的尺蠖式精密旋转微驱动器,包括2个驱动机构、2个箝位机构、动子和支架;所述2个驱动机构结构相同,分别为第一驱动机构和第二驱动机构;所述2个箝位机构结构相同,分别为第一箝位机构和第二箝位机构;所述2个驱动机构位于两侧,2个箝位机构位于2个驱动机构之间;所述动子位于支架上,置于所述旋转微驱动器的对称中心,通过输出孔与各个机构相互配合;所述箝位机构可以夹紧或释放动子;夹紧时,动子跟随箝位机构一起旋转;释放时,动子自由运动。本发明所提供的微驱动器具有行程大、分辨率高、输出负载大、可双向运动等优点。

    一种基于柔性机构的十字梁型3维力传感器

    公开(公告)号:CN206348091U

    公开(公告)日:2017-07-21

    申请号:CN201621132899.3

    申请日:2016-10-18

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于柔性机构的十字梁型3维力传感器,包括具有对称结构的外侧支架上的双平行应变梁结构和内侧十字梁上的双孔式应变梁结构组成,整个机构外侧支架采用4对同方向分布的双平行应变梁柔性结构,十字梁上采用如下图所示的双孔式应变梁机构,传感器的敏感元件包括外侧支架的双平行应变梁柔性结构和十字梁上的双孔式应变梁机构,用于测量3个垂直方向的力,中间的方形结构感受外力。采用双平行应变梁结构加双孔式应变梁机构作为敏感元件的结构类型,具有3维解耦力传感、灵敏度高和频宽范围大等特点。所设计的3维力传感器可用于精密加工与精密测量、纳米科学与技术等领域。

    一种基于柔顺机构的二维微精密操作平台

    公开(公告)号:CN206340345U

    公开(公告)日:2017-07-18

    申请号:CN201621135636.8

    申请日:2016-10-19

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于柔顺机构的二维微精密操作平台,由四个完全相同的结构组成,每个结构包括放大机构和导向机构,放大机构采用二级杠杆机构实现位移的放大,杠杆机构采用对称的结构设计来实现一个驱动器同时驱动两条放大支链;导向机构使用复合平行四杆机构,依靠铰链的拉伸减小耦合位移,保证平台运动的高精度。所设计的二维微精密操作平台行程大、精度高、耦合性好,可用于生物工程、微机电系统、纳米科学与技术、光学工程等领域。

    一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器

    公开(公告)号:CN206283428U

    公开(公告)日:2017-06-27

    申请号:CN201621209768.0

    申请日:2016-11-10

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器,包括驱动机构、2个箝位机构和动子组成,其中驱动机构由4个对称布置的驱动支链和1对定子组成,驱动支链由2个杠杆结构组成,驱动支链采用柔性铰链连接于定子,相对于定子能作往复微位移运动;箝位机构由对称布置的3对柔性铰链、1对杆件组和1对箝位片组成,2个箝位机构通过杆件对称连接于驱动机构两端;动子为细长圆柱形结构,置于微驱动器对称中心,通过孔与箝位机构配合,通过通槽与驱动机构配合,能在孔和通槽中运动。采用驱动机构驱动箝位机构进行往复运动,箝位机构带动动子作直线运动的运动形式仿生尺蠖运动规律。所设计的微驱动器可用于超精密加工、精密工程、微机电系统、生物工程、半导体制造等领域。

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