公开(公告)号：CN114892140A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202210511338.8

申请日：2022-05-11

申请人： 江西理工大学

发明人： 崔佳鑫 ,  鄂殿玉 ,  郭翠萍 ,  刘芳洋 ,  杜振民 ,  文英明 ,  曾晨 ,  王琪 ,  何翊诚 ,  华晴赉 ,  许光泰 ,  刘思达

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/24 ,  C23C14/18 ,  C23C14/54 ,  H01L31/18

摘要： 本发明提出一种铜锌锡硫硒太阳能电池吸收层薄膜的制备装置与制备方法，制备装置包括真空箱，所述真空箱的内部由上至下依次设有衬底加热器、传送架、蒸镀机构以及辅助加热器；所述蒸镀机构包括设于所述辅助加热器与传送架之间的第一蒸发壳，以及设于所述第一蒸发壳与传送架之间的第二蒸发壳；所述蒸镀机构还包括与所述第一蒸发壳顶端转动连接的多个出气盘，以及与多个所述出气盘相连接的连杆调节组件。本发明能够同时输送两路蒸汽的同时，使得两路蒸汽能够从固定且单一的位置出气，以及对两路蒸汽的快速切换，以提高铜锌锡硫硒太阳能电池吸收层薄膜的蒸镀效率。

公开(公告)号：CN114899281A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202210511337.3

申请日：2022-05-11

申请人： 江西理工大学

发明人： 崔佳鑫 ,  鄂殿玉 ,  刘芳洋 ,  郭翠萍 ,  杜振民 ,  王琪 ,  文英明 ,  华晴赉 ,  何翊诚 ,  曾晨 ,  许光泰 ,  刘思达

IPC分类号： H01L31/18 ,  C23C14/06 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50

摘要： 本发明提出一种铜锑硫族太阳能电池吸收层薄膜的制备装置与制备方法，所述铜锑硫族太阳能电池吸收层薄膜的制备装置与包括真空箱，所述真空箱的内部由上至下依次设有衬底加热器、传送架、蒸镀机构以及辅助加热器；所述传送架的一端外部安装有终止框，所述终止框远离所述真空箱的一端设有第一倒角；所述真空箱的一侧表面设有供所述传送架穿插的密封框，所述密封框远离所述真空箱的一端设有用于推动所述终止框的挤压密封组件。本发明能够在铜锑硫太阳能薄板的制备过程中，保持良好的密封性，以便于后续的蒸镀和加热。

公开(公告)号：CN114899281B

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202210511337.3

申请日：2022-05-11

申请人： 江西理工大学

发明人： 崔佳鑫 ,  鄂殿玉 ,  刘芳洋 ,  郭翠萍 ,  杜振民 ,  王琪 ,  文英明 ,  华晴赉 ,  何翊诚 ,  曾晨 ,  许光泰 ,  刘思达

IPC分类号： H01L31/18 ,  C23C14/06 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50

摘要： 本发明提出一种铜锑硫族太阳能电池吸收层薄膜的制备装置与制备方法，所述铜锑硫族太阳能电池吸收层薄膜的制备装置与包括真空箱，所述真空箱的内部由上至下依次设有衬底加热器、传送架、蒸镀机构以及辅助加热器；所述传送架的一端外部安装有终止框，所述终止框远离所述真空箱的一端设有第一倒角；所述真空箱的一侧表面设有供所述传送架穿插的密封框，所述密封框远离所述真空箱的一端设有用于推动所述终止框的挤压密封组件。本发明能够在铜锑硫太阳能薄板的制备过程中，保持良好的密封性，以便于后续的蒸镀和加热。