一种气-固反应制备Cu3P的方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114950295A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210099394.5

    申请日:2022-01-27

    IPC分类号: B01J19/00 B01J19/14 C01B25/08

    摘要: 本发明提供了一种气‑固反应制备Cu3P的方法,属于半导体材料制备技术领域。本发明采用气‑固反应法,在PH3气体的作用下,与含CuO固体材料直接反应制备Cu3P,能够在低温条件下实现Cu3P的直接合成,条件温和,有利于解决目前Cu3P合成条件高、过程复杂的问题;同时,本发明提供的制备方法操作简单易控制、稳定性强,快速高效,合成安全稳定且制备时间相对较短,材料易得成本低,不受时间和地域的限制,不会产生固体副产物,过程绿色环保,无需复杂设备,合成温度可低于100℃,易于实现工业化规模生产。

    一种利用SBA-15吸附剂吸附氟化氢和氯化氢的方法

    公开(公告)号:CN114832578A

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN202210508680.2

    申请日:2022-05-10

    IPC分类号: B01D53/04 B01D53/68 B01D53/78

    摘要: 本发明公开了一种利用SBA‑15吸附剂吸附氟化氢和氯化氢的方法,属于干法脱酸性废气技术领域。本发明将SBA‑15粉碎得到SBA‑15颗粒物,将SBA‑15颗粒物采用焙烧技术负载在填料表面,放入填料塔中脱除氟化氢和氯化氢气体,再利用吸收液吸收未反应的氟化氢和氯化氢气体,即完成氟化氢和氯化氢的吸附。本发明的利用SBA‑15吸附剂通过高温填料焙烧技术固定在填料表面以吸附氟化氢和氯化氢的方法,对氟化氢和氯化氢有较好的脱除效果,且不产生飞粉。该吸附方法设备结构简单、操作简便,可广泛用于各类气源中氟化氢和氯化氢的脱除,具有很好的应用前景。