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公开(公告)号：CN116936406A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310819063.9
申请日：2023-07-05
申请人： 沈阳恒进真空科技有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供一种用于阳极键合的加热结构，包括：用于承载物料的承物台和陶瓷加热盘；承物台底部设置有带护边的沉孔，陶瓷加热盘置于沉孔中，陶瓷加热盘顶部端面与承物台沉孔上端面紧密贴合，承物台底部设置有隔热板用于承载陶瓷加热盘；陶瓷加热盘内置电热丝或者电热片进行加热；隔热板(有效的控制陶瓷加热盘热量向下辐射、造成能量损耗；)、陶瓷加热盘和承物台设置有由下至上开设的用于装配定位的定位孔和用于热电偶插入的热偶插孔(内部插入热电偶对温度进行精准检测，便于控制加热盘加热，能有效地对加热过程进行精准控制)。
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公开(公告)号：CN114165465B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202111562747.2
申请日：2021-12-20
申请人： 东北大学 , 沈阳恒进真空科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种具有双出口可调节结构蜗壳的离心式风机，包括顶部弧形板、底部弧形板，顶部弧形板位于底部弧形板的上方，顶部弧形板的两侧均向下设置有连接侧板，连接侧板将顶部弧形板与底部弧形板相连接，顶部弧形板、底部弧形板以及两个连接侧板组成的结构为蜗壳，蜗壳的中部开设有贯通的圆孔，圆孔的顶部连接有第一法兰，圆孔的底部连接有第二法兰，第一法兰与第二法兰均用于连接叶轮，蜗壳的两端向下弯曲分别形成第一出风口和第二出风口，第一出风口和第二出风口内均设置有可调节多孔栅板机构，第一出风口内和第二出风口内形成两个风道。本发明能够解决现有离心式风机蜗壳存在出风口风道贴外壁风速过大、出口风速不均匀的问题。
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公开(公告)号：CN114165465A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111562747.2
申请日：2021-12-20
申请人： 东北大学 , 沈阳恒进真空科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种具有双出口可调节结构蜗壳的离心式风机，包括顶部弧形板、底部弧形板，顶部弧形板位于底部弧形板的上方，顶部弧形板的两侧均向下设置有连接侧板，连接侧板将顶部弧形板与底部弧形板相连接，顶部弧形板、底部弧形板以及两个连接侧板组成的结构为蜗壳，蜗壳的中部开设有贯通的圆孔，圆孔的顶部连接有第一法兰，圆孔的底部连接有第二法兰，第一法兰与第二法兰均用于连接叶轮，蜗壳的两端向下弯曲分别形成第一出风口和第二出风口，第一出风口和第二出风口内均设置有可调节多孔栅板机构，第一出风口内和第二出风口内形成两个风道。本发明能够解决现有离心式风机蜗壳存在出风口风道贴外壁风速过大、出口风速不均匀的问题。
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公开(公告)号：CN101655310B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200910187433.1
申请日：2009-09-18
申请人： 沈阳恒进真空科技有限公司
摘要： 1800度高温保护气氛真空烧结炉，控制系统与设置在真空烧结炉中的电控执行部件相连，加热室内设有石墨密封箱，高温真空烧结炉的进、排气管道与石墨密封箱相连，其特征在于一炉适用两种工艺气氛烧结和真空烧结，并由控制程序实施功能转换措施，炉壳体上安装热电偶、铜电极，壳体柱体部位有管接口与真空系统的抽空机组相通，炉壳内装方体加热室、加热器固定在加热室四个内壁、加热器内部再安装密封箱和支撑料架；联通密封箱的进、排气管道通过石墨管穿过加热室和密封箱的上下壁与密封箱内相通，炉壳体一端安装气体循环冷却风机，密封箱内壁设热电偶、铜电极，铜电极通过石墨电极与加热器相连接。在真空烧结时，被封闭在密封箱内的挥发物不能散出，有效防止挥发物对加热器的污染损害，同时也使保护气体带走挥发物、保护炉料的效果，提高保护气体的利用率。
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公开(公告)号：CN117053545A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310983434.7
申请日：2023-08-07
申请人： 沈阳恒进真空科技有限公司
摘要： 本发明提供一种真空炉用高温电极桥接结构，包括：接入电极、石墨连接板、石墨电极棒和石墨托板；接入电极真空炉炉体上，且深入炉体的电极连接端与石墨连接板一端电连接；石墨托板通过吊装件吊装在真空炉炉体内壁上；石墨电极棒端部吊装在石墨托板上，且顶端与石墨连接板的另一端为接触式电连接；采用上述技术方案的本发明，是针对温度大于等于1000℃真空环境下，石墨电极棒与铜电极不同轴心的情况下单独设计的可实现电极连接同时可避免高温膨胀的高温电极桥接结构。
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公开(公告)号：CN117053544A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310983398.4
申请日：2023-08-07
申请人： 沈阳恒进真空科技有限公司
摘要： 本发明提供一种真空热压烧结炉，包括：烧结炉体Ⅰ和烧结炉体Ⅱ，真空机组，用于给烧结炉体Ⅰ供电的加热电源Ⅰ和用于给烧结炉体Ⅱ供电的加热电源Ⅱ，液压机系统，用于检测温度的测温系统，用于控制整机工作的PLC控制终端以及向烧结炉体Ⅰ和烧结炉体Ⅱ送料的送料机构；真空机组通过两路单独控制的管路分别与烧结炉体Ⅰ和烧结炉体Ⅱ连接；加热结构吊装在炉内部，且加热结构以石墨柱为发热体，石墨柱呈圆周布置；能够完全应对2200℃以及1500吨压力条件下，对材料进行热压，以水冷压头结合石墨压头作为压合作用部件，相应的对其密封结构进行改良，同时双烧结炉体交替工作模式，适应生产工艺节拍，配置合理，节约成本。
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公开(公告)号：CN115662923A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211426132.1
申请日：2022-11-14
申请人： 沈阳恒进真空科技有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供一种封装键合装置包括，封装工作台，封装工作台的内部固定安装有真空系统，封装工作台上固定安装有位于真空系统一侧的翻盖机构，封装工作台顶端的一侧固定安装有与真空系统相连的真空室，封装工作台顶端的另一侧固定安装有多层声光报警器，封装工作台顶端的中部滑动连接有可移动触控屏，真空室包括上腔组件、下腔组件、O型密封圈、下壳、上壳、上引出电极、平垫圈、观察窗和带孔活动板，本发明该阳极键合设备可实现除取片和上片过程的全自动键合，减少制备硅‑玻璃阳极键合器件所需时间，一定程度上加快了生产速度。
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公开(公告)号：CN101655310A
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200910187433.1
申请日：2009-09-18
申请人： 沈阳恒进真空科技有限公司
摘要： 1800度高温保护气氛真空烧结炉，控制系统与设置在设备中的电控执行部件相连，加热室内设有石墨密封箱，高温真空烧结炉的进、排气管道与石墨密封箱相连，其特征在于一炉具备两种工艺气氛烧结和真空烧结的设置并由控制程序实施功能转换措施，炉壳体上安装热电偶、铜电极，壳体柱体部位有管接口与真空系统的抽空机组相通，炉壳内装方体加热室、加热器固定在加热室内四壁、加热器内部再安装密封箱和支撑料架；联通密封箱的进、排气管道通过石墨管穿过加热室和密封箱的上下壁与密封箱内相通，炉壳体一端安装气体循环冷却风机，密封箱内壁设热电偶、铜电极，铜电极通过石墨电极与加热器相连接。在真空烧结时，被封闭在密封箱内的挥发物不能散出，有效防止挥发物对加热器的污染损害，同时也使保护气体带走挥发物、保护炉料的效果，提高保护气体的利用率。
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公开(公告)号：CN101319272A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810012387.7
申请日：2008-07-18
申请人： 沈阳恒进真空科技有限公司
摘要： 料架可旋转的立式真空高压气淬炉，为立式下开门、底装料式真空炉，包括以工控机及PLC为主的控制系统，其特征是下炉门内侧内圆设旋转平台支座，支座上同轴安装旋转圆盘、料架，旋转圆盘下部同轴安装大齿轮，偏心设置的旋转驱动机构上的小齿轮与大齿轮周啮合，驱动旋转圆盘转动，使承载工件的料架可以绕垂直中心轴旋转；料架根部设较厚隔热层，加热室下屏保温层为环形、两者之间有环台形间隙；转盘及其上的隔热层、料架，以及旋转驱动机构都随炉门一同升降；真空炉采用PLC技术控制，各种动作、炉内温度和料架旋转均连锁控制。该设备能够保证各部位的工件受热均匀一致，在真空、正压、动密封、保温、冷却等性能都得到了较好的保证。
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公开(公告)号：CN101319271A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810012385.8
申请日：2008-07-18
申请人： 沈阳恒进真空科技有限公司
摘要： 可对流加热的喷嘴冷却真空气淬炉，炉体轴向平行于地面，采用自控系统，其特征在于加热室为方体结构，方形加热室内壁四周安置冷却风道和喷嘴，喷嘴垂直于工作区表面，加热室纵向两端设回风口，采用平行四边杆的开闭风门结构，并设各自的开门气缸，移动几乎是垂直于保温层的，加热室内设置对流风扇，气缸引入炉体密封处用金属波纹管做动密封；控制系统：各执行部件均设置电磁元件与控制系统电路连接，风门打开和关闭，对流风扇的启动和停止，以及作业中加热和冷却过程均由控制系统联锁控制。新的加热室结构实现对流加热，提高加热速度和均匀性，既能减少热损失，又提高冷却效果。
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