公开(公告)号：CN221759978U

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202420334847.2

申请日：2024-02-23

申请人： 河南昌达智能装备有限公司 ,  河南省科学院碳基复合材料研究院

发明人： 张慈航 ,  任宣儒 ,  肖丽丽 ,  刘家宏 ,  高子原 ,  申振江

IPC分类号： C23C16/511 ,  C23C16/27 ,  C23C16/52 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458

摘要： 本实用新型属于CVD单晶金刚石制备技术领域，尤其涉及一种钻石生成专机。一种钻石生成专机，包括机架，反应腔单元包括设置在机架上的底座、在底座上设置的沉积台及密封盖，微波发生单元包括用于对反应器加热的微波发生器；冷却单元包括固定穿设在底座内并延伸至反应腔内的进水管、在进水管上端设置的支撑盘、在进水管内穿设的回水管，真空发生单元包括真空泵，顶升单元包括在回水管内穿设的调整杆及驱动调整杆上下运动的驱动机构，调整杆的上端部延伸至回水管上方并固定嵌设在沉积台内，供气单元包括气瓶及连接在密封盖上以用于对反应腔内通入反应气体的通气机构。本实用新型具有结构紧凑、单次制备钻石晶片数量多、可调整沉积台高度的优点。