一种二维快速偏摆反射镜及其工作方法

    公开(公告)号:CN107479187B

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN201710903695.8

    申请日:2017-09-29

    Abstract: 本发明公开了一种二维快速偏摆反射镜及其工作方法,其特征在于包括:镜面支撑结构、第一柔性偏摆机构、第二柔性偏摆机构、传感驱动组件、底座和驱动控制系统;所述柔性偏摆机构组合后用于安装镜面支撑结构,传感驱动组件与驱动控制系统连接用于控制柔性偏摆机构执行偏摆动作,底座用于固定传感驱动组件和柔性偏摆机构。本发明的优点在于:具备装配简单、机构紧凑、空间利用率高、稳定性好、响应快、体积小,重量轻、刚度高的特点;增加了输出偏摆角的范围,使得反射镜具备较大的偏摆范围;测量精度高、占用空间小,能够间接测量偏摆输出角度,具备较高的偏摆角输出精度;提高了光束控制精度;具有较高的线性度和分辨率。

    柔性驱动体及使用该柔性驱动体的快速控制反射镜

    公开(公告)号:CN105404000A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201610020073.6

    申请日:2016-01-13

    CPC classification number: G02B26/0858

    Abstract: 本发明提供一种柔性驱动体及使用该柔性驱动体的快速控制反射镜,该快速控制反射镜包括底座、压电驱动器、柔性驱动体、两块固定板、反射镜片和驱动控制系统;所述反射镜片设置在所述柔性驱动体的镜片承载横板上;所述压电驱动器镶嵌在所述柔性驱动体的八边形框架结构的内部;所述固定板的上部侧面均与所述柔性驱动体的旋转中心杆固定连接,下端面均与底座固定连接;所述柔性驱动体通过其的三角放大第二输入端板与所述底座固定连接;所述柔性驱动体的两块柔性板簧靠近旋转中心杆的一端表面分别粘贴有SGS应变片,所述驱动控制系统与所述压电驱动器和所述应变片输出端电连接,用于实现对反射镜片偏转角度的闭环控制。

    柔性驱动体及使用该柔性驱动体的快速控制反射镜

    公开(公告)号:CN105404000B

    公开(公告)日:2018-06-26

    申请号:CN201610020073.6

    申请日:2016-01-13

    Abstract: 本发明提供一种柔性驱动体及使用该柔性驱动体的快速控制反射镜,该快速控制反射镜包括底座、压电驱动器、柔性驱动体、两块固定板、反射镜片和驱动控制系统;所述反射镜片设置在所述柔性驱动体的镜片承载横板上;所述压电驱动器镶嵌在所述柔性驱动体的八边形框架结构的内部;所述固定板的上部侧面均与所述柔性驱动体的旋转中心杆固定连接,下端面均与底座固定连接;所述柔性驱动体通过其的三角放大第二输入端板与所述底座固定连接;所述柔性驱动体的两块柔性板簧靠近旋转中心杆的一端表面分别粘贴有SGS应变片,所述驱动控制系统与所述压电驱动器和所述应变片输出端电连接,用于实现对反射镜片偏转角度的闭环控制。

    基于Duhem的压电执行器的神经网络参数辨识方法

    公开(公告)号:CN106682728A

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201610874543.5

    申请日:2016-09-30

    CPC classification number: G06N3/02

    Abstract: 本发明提供一种基于Duhem的压电执行器的神经网络参数辨识方法,包括以下步骤:步骤1,由Duhem模型微分方程推导出其离散化参数模型;步骤2,根据所述离散化参数模型与参数间的互联关系,构建神经网络;步骤3,利用静态测试原理获取用于所述神经网络的训练的初始输入输出数据集;步骤4,根据Levenberg‑Marquardt算法、所述初始输入输出数据集和预设的训练目标对所述神经网络进行训练,根据训练结果计算出所述离散化参数模型的可调权重的值;步骤5,根据所述离散化参数模型与所述可调权重的值计算所述参数的值。

    驱动组件及柔性精密定位平台

    公开(公告)号:CN107481767B

    公开(公告)日:2023-01-24

    申请号:CN201710811135.X

    申请日:2017-09-11

    Abstract: 本发明公开了一种驱动组件及柔性精密定位平台,涉及柔性精密定位平台技术领域。该驱动组件包括第一压电驱动器和柔性驱动体,柔性驱动体包括半桥式驱动部、第一柔性铰链件以及固定平台。固定平台和半桥式驱动部分别位于第一柔性铰链件的两侧且与其固定连接,第一压电驱动器与半桥式驱动部固定连接。柔性精密定位平台包括竖向驱动组件、支撑件以及驱动组件,竖向驱动组件与驱动组件相互垂直设置。该柔性精密定位平台具有5个解耦自由度,可实现沿X轴、Y轴、Z轴的平动,及绕X轴、Y轴的偏摆转动,具备高精度、大行程、高刚度等特点。

    基于Duhem模型的压电执行器的神经网络参数辨识方法

    公开(公告)号:CN106682728B

    公开(公告)日:2019-01-11

    申请号:CN201610874543.5

    申请日:2016-09-30

    Abstract: 本发明提供一种基于Duhem的压电执行器的神经网络参数辨识方法,包括以下步骤:步骤1,由Duhem模型微分方程推导出其离散化参数模型;步骤2,根据所述离散化参数模型与参数间的互联关系,构建神经网络;步骤3,利用静态测试原理获取用于所述神经网络的训练的初始输入输出数据集;步骤4,根据Levenberg‑Marquardt算法、所述初始输入输出数据集和预设的训练目标对所述神经网络进行训练,根据训练结果计算出所述离散化参数模型的可调权重的值;步骤5,根据所述离散化参数模型与所述可调权重的值计算所述参数的值。

    驱动组件及柔性精密定位平台

    公开(公告)号:CN107481767A

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201710811135.X

    申请日:2017-09-11

    CPC classification number: G12B5/00

    Abstract: 本发明公开了一种驱动组件及柔性精密定位平台,涉及柔性精密定位平台技术领域。该驱动组件包括第一压电驱动器和柔性驱动体,柔性驱动体包括半桥式驱动部、第一柔性铰链件以及固定平台。固定平台和半桥式驱动部分别位于第一柔性铰链件的两侧且与其固定连接,第一压电驱动器与半桥式驱动部固定连接。柔性精密定位平台包括竖向驱动组件、支撑件以及驱动组件,竖向驱动组件与驱动组件相互垂直设置。该柔性精密定位平台具有5个解耦自由度,可实现沿X轴、Y轴、Z轴的平动,及绕X轴、Y轴的偏摆转动,具备高精度、大行程、高刚度等特点。

    一种二维快速偏摆反射镜及其工作方法

    公开(公告)号:CN107479187A

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201710903695.8

    申请日:2017-09-29

    CPC classification number: G02B26/0858 G02B7/198

    Abstract: 本发明公开了一种二维快速偏摆反射镜及其工作方法,其特征在于包括:镜面支撑结构、第一柔性偏摆机构、第二柔性偏摆机构、传感驱动组件、底座和驱动控制系统;所述柔性偏摆机构组合后用于安装镜面支撑结构,传感驱动组件与驱动控制系统连接用于控制柔性偏摆机构执行偏摆动作,底座用于固定传感驱动组件和柔性偏摆机构。本发明的优点在于:具备装配简单、机构紧凑、空间利用率高、稳定性好、响应快、体积小,重量轻、刚度高的特点;增加了输出偏摆角的范围,使得反射镜具备较大的偏摆范围;测量精度高、占用空间小,能够间接测量偏摆输出角度,具备较高的偏摆角输出精度;提高了光束控制精度;具有较高的线性度和分辨率。

    驱动组件及柔性精密定位平台

    公开(公告)号:CN207352970U

    公开(公告)日:2018-05-11

    申请号:CN201721159747.7

    申请日:2017-09-11

    Abstract: 本实用新型公开了一种驱动组件及柔性精密定位平台,涉及柔性精密定位平台技术领域。该驱动组件包括第一压电驱动器和柔性驱动体,柔性驱动体包括半桥式驱动部、第一柔性铰链件以及固定平台。固定平台和半桥式驱动部分别位于第一柔性铰链件的两侧且与其固定连接,第一压电驱动器与半桥式驱动部固定连接。柔性精密定位平台包括竖向驱动组件、支撑件以及驱动组件,竖向驱动组件与驱动组件相互垂直设置。该柔性精密定位平台具有5个解耦自由度,可实现沿X轴、Y轴、Z轴的平动,及绕X轴、Y轴的偏摆转动,具备高精度、大行程、高刚度等特点。

    一种二维快速偏摆反射镜
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207689751U

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201721264783.X

    申请日:2017-09-29

    Abstract: 本实用新型公开了一种二维快速偏摆反射镜,其特征在于包括:镜面支撑结构、第一柔性偏摆机构、第二柔性偏摆机构、传感驱动组件、底座和驱动控制系统;所述柔性偏摆机构组合后用于安装镜面支撑结构,传感驱动组件与驱动控制系统连接用于控制柔性偏摆机构执行偏摆动作,底座用于固定传感驱动组件和柔性偏摆机构。本实用新型的优点在于:具备装配简单、机构紧凑、空间利用率高、稳定性好、响应快、体积小,重量轻、刚度高的特点;增加了输出偏摆角的范围,使得反射镜具备较大的偏摆范围;测量精度高、占用空间小,能够间接测量偏摆输出角度,具备较高的偏摆角输出精度;提高了光束控制精度;具有较高的线性度和分辨率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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