公开(公告)号：CN111566932B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN201880084215.2

申请日：2018-12-21

申请人： 法国原子能源和替代能源委员会

发明人： M·戈里斯 ,  A·莱因哈特 ,  拉明·贝奈萨 ,  J·S·某乐图

IPC分类号： H03H3/02 ,  H03H9/17 ,  H03H9/02 ,  H10N30/072 ,  H10N30/853

摘要： 本发明涉及一种用于可调节的体声波谐振器的制造方法，可调节的体声波谐振器包括换能器叠层(E1)和调谐叠层(E2)。根据本发明，换能器叠层(E1)包括两个限定的电极(4、6)和压电材料(2)，并且叠层(E2)包括压电材料层(8)和两个限定的电极(10、12)。该方法包括：a)制造换能器叠层；b)在换能器叠层的电极(6)上形成电绝缘层；c)在电绝缘层上形成调谐叠层的限定的电极(10)，使得其与换能器叠层的电极对准；d)在电极(10)上组装压电材料衬底；e)使压电材料衬底断裂；f)形成调谐叠层的与限定的电极(10)对准的另一限定的电极(12)。

公开(公告)号：CN111566932A

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN201880084215.2

申请日：2018-12-21

申请人： 法国原子能源和替代能源委员会

发明人： M·戈里斯 ,  A·莱因哈特 ,  拉明·贝奈萨 ,  J·S·某乐图

IPC分类号： H03H3/02 ,  H03H9/17 ,  H03H9/02 ,  H01L41/312 ,  H01L41/187

摘要： 本发明涉及一种用于可调节的体声波谐振器的制造方法，可调节的体声波谐振器包括换能器叠层(E1)和调谐叠层(E2)。根据本发明，换能器叠层(E1)包括两个限定的电极(4、6)和压电材料(2)，并且叠层(E2)包括压电材料层(8)和两个限定的电极(10、12)。该方法包括：a)制造换能器叠层；b)在换能器叠层的电极(6)上形成电绝缘层；c)在电绝缘层上形成调谐叠层的限定的电极(10)，使得其与换能器叠层的电极对准；d)在电极(10)上组装压电材料衬底；e)使压电材料衬底断裂；f)形成调谐叠层的与限定的电极(10)对准的另一限定的电极(12)。