一种高纯气体充装系统

    公开(公告)号:CN210662295U

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201921365461.3

    申请日:2019-08-12

    摘要: 本实用新型公开一种高纯气体充装系统,包括物料储罐部分、液泵部分、充装部分、PLC控制系统四个部分,物料储罐部分包括高纯气体储罐(1)、低压汽化器(2);液泵部分包括液泵(3)和高压汽化器(4);充装部分包括充装面板(5)、电子秤(6)和包装容器(20),充装面板(5)上布置有过滤器(19)和隔膜阀V12,过滤器(19)和隔膜阀V12之间的管线上布置有氦气管(7)、真空管(9)、回收管(8)、分析管(10)、面板压力传感器(13)和真空计(14);PLC控制系统包括液泵控制柜(15)、充装控制柜(16)。该高纯气体充装系统可以手动操作,也可实现自动充装。包装容器可以一支或多支如钢瓶或槽车的充装,过程高效、快捷。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利