公开(公告)号：CN117470620A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202311380622.7

申请日：2023-10-24

申请人： 济南晶恒电子有限责任公司

发明人： 石超群 ,  沈中堂 ,  宋青 ,  单维刚 ,  杨晓亮 ,  王宏光 ,  陈守迎

IPC分类号： G01N1/30 ,  G01N23/2202 ,  G01N23/2251

摘要： 本发明涉及肖特基二极管的P型保护环用染色液及使用方法，属于半导体器件测试领域。本发明所述染色液由H2O2和BOE溶液组成，所述H2O2和BOE溶液的体积比为H2O2：BOE＝2：1～6。使用时把肖特基二极管样品剖面浸泡入所述染色液中30～60秒后取出，取出后使用扫描电子显微镜进行剖面观察该肖特基二极管样品。本发明是为了解决化学染色法所用染色液会形成高毒性和腐蚀性的氮氧化合物气体，且废液处理困难的问题，本发明提供一种肖特基二极管的P型保护环用染色液及使用方法，本发明提供的染色液，在使用过程中不会产生有害气体，且废液回收处理的流程简单，在此基础上，有较好的染色效果，能够明显区分P型保护环形貌。