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公开(公告)号：CN101560653A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200910098784.5
申请日：2009-05-14
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种梯度折射率薄膜的制备方法。它包括如下步骤：1)将高、低折射率材料前驱体分别放入反应前驱体容器；2)加热衬底，抽真空，开启镀膜机；3)沉积低折射率膜层；4)沉积高折射率膜层；5)交替沉积形成梯度折射率薄膜。本发明与现有技术相比具有的有益效果：1)本发明使用原子层沉积技术，通过控制两种材料的沉积工艺参数实现不同的折射率子层；2)采用交替沉积的方式，控制循环次数，工艺控制简单；3)两种膜料分别是高、低折射率膜料，沉积温度要相近；4)沉积子层的折射率可以是高、低折射率之间的任意折射率值；5)折射率子层是混合膜层，折射率大小可以通过控制交替沉积的两种膜料沉积比例控制。
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