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公开(公告)号：CN101554790B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200910098622.1
申请日：2009-05-18
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开的超硬碳薄膜自下而上依次由基底、纯Ti结合层、Ti+C复合梯度过渡层和以sp2结构为主的非晶纯碳膜层构成。采用非平衡磁控溅射法制备。超硬碳薄膜在合金表面沉积的纯Ti结合层及Ti+C复合梯度过渡层显著提高了薄膜与基底的结合力，以sp2结构为主的非晶纯碳膜层硬度可达41～53GPa，同时含有较低的内应力，超硬碳薄膜的厚度可控。在大气环境中进行干摩擦试验，超硬碳薄膜具有极低的摩擦系数和磨损率，显示出优异的减摩与耐磨性能，可用于制造在轴承和蜗轮蜗杆等零部件表面的防护薄膜，大幅度提高机械零部件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN101804708B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201010143619.X
申请日：2010-04-09
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开的Ti-TiN-CNx梯度多层薄膜在钛合金基底上自下而上依次有纯Ti结合层、由TiN和非晶CNx相互交替构成的TiN/CNx梯度多层过渡层和类石墨结构的非晶CNx膜层。采用非平衡磁控溅射法制备。纯Ti结合层及TiN/CNx梯度多层过渡层提高了薄膜与基底的结合力，类石墨结构的非晶纯CNx膜层硬度可达25～35GPa，同时含有较低的内应力，梯度多层薄膜的厚度可控。在Tyrode’s模拟体液中进行生物摩擦性能测试，梯度多层薄膜具有较低的摩擦系数和磨损率，显示出优异的减摩与耐磨性能和生物相容性，可用于人工心脏瓣膜和人工关节置换的生物材料表面防护改性，大幅度提高材料的使用寿命。
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公开(公告)号：CN101596799A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200910100211.1
申请日：2009-06-25
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开的含钛非晶碳高硬耐磨薄膜，是在金属基体上自下而上依次沉积有纯钛底层、碳钛复合梯度过渡层和含钛非晶碳层，含钛非晶碳层中弥散分布着粒径为5～20nm的TiC晶粒，其中碳的原子百分比是74.2at.％～98at.％，钛的原子百分比是2～23.8at.％。该薄膜具有高硬度和良好的韧性、低摩擦系数和极高的耐磨性能，并与金属基体有良好的结合强度，可应用在轴承、陀螺仪、齿轮和金属切削工具等的表面，提高使用寿命。并可应用于生物医学中，如人工髋关节表面等。
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公开(公告)号：CN101554790A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200910098622.1
申请日：2009-05-18
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开的超硬碳薄膜自下而上依次由基底、纯Ti结合层、Ti+C复合梯度过渡层和以sp2结构为主的非晶纯碳膜层构成。采用非平衡磁控溅射法制备。超硬碳薄膜在合金表面沉积的纯Ti结合层及Ti+C复合梯度过渡层显著提高了薄膜与基底的结合力，以sp2结构为主的非晶纯碳膜层硬度可达41～53GPa，同时含有较低的内应力，超硬碳薄膜的厚度可控。在大气环境中进行干摩擦试验，超硬碳薄膜具有极低的摩擦系数和磨损率，显示出优异的减摩与耐磨性能，可用于制造在轴承和蜗轮蜗杆等零部件表面的防护薄膜，大幅度提高机械零部件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN101804708A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010143619.X
申请日：2010-04-09
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开的Ti-TiN-CNx梯度多层薄膜在钛合金基底上自下而上依次有纯Ti结合层、由TiN和非晶CNx相互交替构成的TiN/CNx梯度多层过渡层和类石墨结构的非晶CNx膜层。采用非平衡磁控溅射法制备。纯Ti结合层及TiN/CNx梯度多层过渡层提高了薄膜与基底的结合力，类石墨结构的非晶纯CNx膜层硬度可达25～35GPa，同时含有较低的内应力，梯度多层薄膜的厚度可控。在Tyrode’s模拟体液中进行生物摩擦性能测试，梯度多层薄膜具有较低的摩擦系数和磨损率，显示出优异的减摩与耐磨性能和生物相容性，可用于人工心脏瓣膜和人工关节置换的生物材料表面防护改性，大幅度提高材料的使用寿命。
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