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公开(公告)号：CN114486892B
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202210063094.1
申请日：2022-01-20
摘要： 本发明公开了一种基于声光偏转扫描的结构光照明显微成像装置及方法，该装置将激发光通过偏振分光器分成两个对称的光路，每个光路各过一个声光偏转模块进行光束的扫描，两光束再通过合束器进行合束，在样品面上进行干涉产生照明条纹。每个光路中的声光偏转模块由两个互相垂直放置的两个声光偏转器以及两个透镜所构成的4f系统组成，通过控制加载在两个声光偏转模块中的各自的两个声光偏转器的载波频率，可以改变每个声光偏转器对光束的在xy平面上的扫描位置，进而得到不同方向的干涉条纹。利用声光偏转器对光束进行扫描，相比于振镜扫描可以获得更快的扫描速度；此外，相对于振镜，声光偏转器具有更高的扫描稳定性，可以实现更稳定的照明条纹。
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公开(公告)号：CN116540503A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310797264.3
申请日：2023-07-03
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明涉及一种激光直写样品的固定装置及工作方法，固定装置包括样品台框架，还包括能够可拆卸地设于所述样品台框架上的适配常规刻写模式的第一固定组件，或适配大尺寸浸入式刻写模式的第二固定组件，或适配光纤端面刻写模式的第三固定组件；第一固定组件为边沿限位式定位槽结构；第二固定组件为三层叠套筒式定位槽结构，以此实现晶圆的定位及光刻胶装载；第三固定组件为双板夹角式定位槽结构，以此实现光纤夹持定位。与现有技术相比，本发明提供了一种结构简单，普适性高，易于操作的一种激光直写样品的固定装置及其工作方法，以实现不同形状、尺寸激光直写样品的固定和定位，适配多种加工场景，可广泛应用于激光直写光刻领域。
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公开(公告)号：CN116224575A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310521844.X
申请日：2023-05-10
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 本发明公开了一种带有滤波功能的光束漂移矫正装置及方法，入射光束经第一压电反射镜架、第二压电反射镜架上的反射镜再经过依次布置的第一透镜、针孔和第二透镜进行滤波，然后一部分光束经第一固定反射镜架上的反射镜透射至能量探测PD上，一部分光束经第二固定反射镜架上的反射镜出射至位置探测CCD的探测面上；通过调整第一压电反射镜架使能量探测PD上的光强保持最大值，以矫正光束位置漂移量；通过调整第二固定反射镜架使位置探测CCD的光斑形心坐标与初始光斑形心坐标相同，实现光束漂移矫正。本发明装置不仅可以完成光束大范围位置漂移和角度漂移矫正，还可以进行滤波，提供光束质量，为高精密光学系统中光束的实时校正提供技术支持。
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公开(公告)号：CN114442257A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202210087665.5
申请日：2022-01-25
摘要： 本发明公开了一种大范围高精度光束焦面跟踪装置，入射光束首先依次经过所述二分之一波片、偏振分束镜和四分之一波片，形成第一光束；第一光束经过所述物镜聚焦在样品表面，而聚焦在样品表面的激光被样品表面反射，依次经过物镜与四分之一波片后，被偏振分束镜反射到另一侧，形成第二光束；第二光束经过非偏振分束镜分解为第三光束与第四光束；第三光束经过所述第一柱面镜和第二柱面镜后，入射到所述四象限探测器的探测面上；第四光束经过所述透镜和针孔后，入射到所述光电倍增管探测器的探测面上。本发明与现有焦面跟踪装置相比，既可以保证高精度，又极大的扩展了焦面跟踪的范围。
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公开(公告)号：CN106939059A
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201710135347.0
申请日：2017-03-08
申请人： 浙江大学
IPC分类号： C08F130/02 , C08J9/28 , C08L43/02 , C07F9/6571
CPC分类号： C08F130/02 , C07F9/6571 , C08J9/28 , C08J2201/0502 , C08J2343/02
摘要： 本发明涉及聚合物的制备技术，旨在提供一种基于1,1'‑联‑2‑萘酚的纯手性分子构建多孔聚合物的方法。该方法包括：将基本骨架材料溶于致孔溶剂后加入聚合引发剂；60～240℃下搅拌聚合6～48h，蒸馏回收溶剂，得到由纯手性分子构建的多孔聚合物材料；本发明通过自由基聚合一步法合成多孔手性聚合物；在合成过程中没有再额外加入单体使得所得到的手性聚合物有更好的手性诱导环境；可以通过设计乙烯基功能化的BINOL分子作为基本骨架得到一系列的手性配体；所得到的树脂孔径在0.5～200nm之间，比表面积最高可达1000m2/g。
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公开(公告)号：CN103435728B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310410837.9
申请日：2013-09-10
申请人： 浙江大学
IPC分类号： C08F130/02 , C08J9/28 , C08L43/02 , C07F9/54
摘要： 本发明涉及材料化学领域，旨在提供多孔聚季磷型离子液的制备方法。该制备方法的具体步骤包括：先将作为基本骨架材料的季磷型离子液体加入到致孔溶剂中，再加入聚合引发剂偶氮二异丁腈，并使基本骨架材料、致孔溶剂和聚合引发剂的质量比为1∶2～40∶0.003～0.01，然后在60°C～240°C下搅拌聚合6～24小时，最后以120°C蒸馏回收溶剂，即得到多孔聚季磷型离子液。本发明通过自由基聚合一步法合成多孔聚季磷型离子液，在合成过程中没有再额外加入单体，使得多孔聚季磷型离子液的电荷密度很高，且可以通过设计不同的乙烯基功能化离子液单体，来得到不同的多孔聚季磷型离子液。
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公开(公告)号：CN103446955B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201310410924.4
申请日：2013-09-10
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明涉及有机化学领域，旨在提供利用多孔聚离子液聚合物氧化脱硫的方法及其制备方法。该方法的具体步骤包括：将需要氧化脱硫的模型与催化剂、双氧水充分混合，然后反应0.5～10小时，反应结束之后，反应的上层产物即为硫含量小于5ppm的氧化脱硫产物，催化剂是指M/PPIL；该催化剂的具体制备步骤包括：将PPIL和含有K2W2O11、KVO3或者(NH4)2MoO4中任意一种物质的溶液在室温下搅拌24小时，通过离子交换即得到M/PPIL。本发明合成的催化剂具有优异的两亲性能和催化性能，在氧化脱硫反应过程中不需要进一步加入极性溶剂，大大简便了分离提纯过程，反应结束后的催化剂可再次重复利用。
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公开(公告)号：CN103435728A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310410837.9
申请日：2013-09-10
申请人： 浙江大学
IPC分类号： C08F130/02 , C08J9/28 , C08L43/02 , C07F9/54
摘要： 本发明涉及材料化学领域，旨在提供多孔聚季磷型离子液的制备方法。该制备方法的具体步骤包括：先将作为基本骨架材料的季磷型离子液体加入到致孔溶剂中，再加入聚合引发剂偶氮二异丁腈，并使基本骨架材料、致孔溶剂和聚合引发剂的质量比为1∶2～40∶0.003～0.01，然后在60°C～240°C下搅拌聚合6～24小时，最后以120°C蒸馏回收溶剂，即得到多孔聚季磷型离子液。本发明通过自由基聚合一步法合成多孔聚季磷型离子液，在合成过程中没有再额外加入单体，使得多孔聚季磷型离子液的电荷密度很高，且可以通过设计不同的乙烯基功能化离子液单体，来得到不同的多孔聚季磷型离子液。
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公开(公告)号：CN114019766B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202111266973.6
申请日：2021-10-28
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开一种利用千束独立可控PPI点阵进行高通量直写的装置，该装置主要包含激发光和抑制光两路光，激发光路包含核心元件数字微镜阵列DMD、微透镜阵列MLA和连续变形镜DM，抑制光路包括核心元件空间光调制器SLM。本发明利用微透镜阵列MLA产生千束激发光点阵，利用高速连续变形镜DM矫正系统波前像差，实现点阵分布均匀性和光斑质量的优化，利用数字微镜阵列DMD对点阵的开关、强度进行独立调控，抑制光路通过空间光调制器SLM产生四束光，四束光在物镜焦平面干涉产生的点阵暗斑用于涡旋抑制光，与激发光点阵在物镜焦平面重合后形成千束PPI点阵，可实现大面积复杂三维结构的超分辨高通量灵活刻写。
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公开(公告)号：CN116300328A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310063548.X
申请日：2023-01-13
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明涉及一种激光直写光源和激光直写装置，包括控制器、激光器组、单模光纤组以及光学端口，所述激光器组包括多个激光器且所有所述激光器均电连接至所述控制器，所述单模光纤组包括与所述激光器数量相同的单模光纤，所述单模光纤的一端连接至对应的所述激光器，所述单模光纤的另一端连接至所述光学端口。激光器组通过单模光纤组在光学端口处形成了激光点阵。控制器对每个激光器分别控制能量大小和通断，由此控制光学端口中激光点阵的形状和各个激光点的能量大小，从而更加方便地进行激光直写。各个激光点是由各个激光器独立产生，激光点之间不需要进行匹配，因此激光点阵的控制和改变也就特别容易和精准，在进行直写过程中也就更加稳定。
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