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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115326368A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202211079650.0
申请日：2022-09-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种高陡度自由曲面相位恢复波前检测方法，该方法通过将自由曲面划分为多个子区域，对每个子区域进行独立的衍射计算，通过子区域衍射计算替换整区域衍射计算，降低了一次衍射计算的计算量。利用结合子区域衍射计算的相位恢复算法对波前进行重建，得到待测自由曲面的波前，实现了高陡度自由曲面相位恢复波前检测。本发明通过使用子区域衍射计算方法代替传统的整区域标量衍射计算，使衍射计算结果更加符合实际情况，提高了相位恢复波前检测技术的精度及鲁棒性，提高了数值模型与实验模型的匹配度。
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公开(公告)号：CN116224543A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310057368.0
申请日：2023-01-18
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于环形高斯径向基函数自由曲面的全景环带光学系统，包括依次同轴布置的全景环带头部单元、后继透镜组和传感器；后继透镜组包括从物方到像方依次布置的具有负光焦度的双凹透镜RL1、具有正光焦度的双凸透镜RL2、具有负光焦度的弯月形透镜RL3、具有正光焦度的双凸透镜RL4、具有正光焦度的双凸透镜RL5、具有负光焦度的弯月形透镜RL6，所述RL3凹面位于像方，凸面位于物方；所述RL6凹面位于物方，凸面位于像方；RL4位于像方的表面、RL5位于物方的表面、RL6位于像方表面均使用环形高斯径向基函数自由曲面。本发明使用环形高斯径向基函数自由曲面，实现对不同视场独立控制，同时矫正各视场的像差，保证在超大视场范围内获得良好的成像质量。
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公开(公告)号：CN117332191A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311264033.2
申请日：2023-09-28
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开一种适用于高数值孔径系统的快速模态相位恢复方法及系统，涉及光学测量技术领域。本发明将每个偏振方向的待测波前模式分解为数值正交的泽尼克径向多项式，多项式基于线性调频Z变换完成德拜衍射积分的灵活快速计算，得到探测面各个偏振方向上的矢量衍射基函数，然后计算关于多项式系数的梯度和Hesse矩阵并进行迭代计算，实现了适用于高数值孔径系统的快速模态相位恢复。并且，本发明通过计算矢量衍射模型，实现了高数值孔径系统的检测。通过模式分解待测波前，能够有效减少待优化数据量，并用矩阵运算代替衍射算子计算梯度和Hesse矩阵，能够实现快速的模态相位恢复。
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公开(公告)号：CN117288118A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311241071.6
申请日：2023-09-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开一种三维形貌确定方法、系统、电子设备及介质，涉及白光干涉三维形貌测量技术领域。所述方法包括：将待测样品的干涉图中各像素点的干涉信号序列输入训练好的卷积神经网络确定待测样品的干涉图中各像素点的干涉信号序列的类别；用相干峰值检测算法对干涉图中各像素点的干涉信号序列进行处理得到各像素点的高度；采用十字法根据各像素点的高度对类别为受蝙蝠翼效应影响的干涉信号序列对应的像素点的高度进行修正得到修正后的各像素点的高度；根据修正后的各像素点的高度确定待测样品的三维形貌。本发明可在恢复形貌前，无需待测表面的先验知识，提前确定出现蝙蝠翼效应的位置，从而精准消除蝙蝠翼效应的影响，提高三维形貌检测的精确度。
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