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公开(公告)号：CN101442174B
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200810163010.1
申请日：2008-12-02
Applicant: 浙江大学
Abstract: 一种在ITO导电玻璃的电极上焊接电外引线的方法，包含：配制非结晶型的低熔点玻璃粉、配制焊接用银浆浆料、银浆涂覆和还原以及焊接外引线等工序步骤，本发明方法进行导电玻璃电极与外电路的焊连接，焊接电阻小，为欧姆接触；焊接点有相当大的抗拉强度和剪切强度；可对小宽度和小间距ITO导电玻璃电极进行高可靠焊接，焊接方法简单、操作易行、快捷。
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公开(公告)号：CN101254915A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810060547.5
申请日：2008-03-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 一种用于制备纳米碳管垂直取向的高压电场处理装置，由直流可调高压电源1、电压表10、阳极金属板3、阴极金属板7、红外线灯5和基座8组成，可调高压电源1经导线2连接阳极金属板3和阴极金属板7，阳极金属板3和阴极金属板5的两块极板水平平行放置，间距2～5CM之间可调，金属极板的面积大于或等于印刷有纳米碳管层的基板6面积。本发明的高压电场处理装置，可以在大面积基板上获得纳米碳管垂直取向，处理装置简单，操作方法方便。
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公开(公告)号：CN100367002C
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200510049066.0
申请日：2005-02-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种干涉型硅基芯片微光学陀螺。它具有依次连接的探测器、采样电路、数字信号处理电路、调制驱动电路、Y波导调制器、分束器、探测器，分束器与光源相接，Y波导调制器与螺旋光波导相接，螺旋光波导具有上层螺旋光波导、下层螺旋光波导、螺旋光波导的Si基底。本发明与光纤陀螺相比，微光学陀螺用光波导取代光纤，克服分立元件组合的不足，特别是光纤过长温度及振动影响大的缺点，可获得尺寸更小的高可靠性、高精度光陀螺；与微机械陀螺相比，可获得尺寸接近，无运动部件的全固化，精度更高、能批量生产的陀螺；新的光波导是在硅基上实现，因此微光学陀螺是芯片化陀螺。可将光源、光器件、处理电路做在一个硅芯片上，提高精度与可靠性。
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公开(公告)号：CN113465534B
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202110710393.5
申请日：2021-06-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉的微纳深沟槽结构快速测量方法。本发明包括：搭建白光干涉系统，利用白光干涉系统测量沟槽的结构，CCD相机采集获得多组沟槽干涉图及各组中每张沟槽干涉图对应的编号；对沟槽样品的各组沟槽干涉图进行处理后，获得各组沟槽干涉图的最大对比度与局部结构三维重建图；提取各组沟槽干涉图对应的局部结构三维重建图中的分界面重建图；将所有组沟槽干涉图对应的分界面重建图进行拼接后获得沟槽样品的三维结构重建图，根据三维结构重建图测量沟槽样品的深度和宽度。本发明光路更为简洁，方法能对亚毫米级别的沟槽结构进行探测，宽度达到几百微米，深度达到几毫米，测量速度得到很大提升。
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公开(公告)号：CN113607084A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110916532.X
申请日：2021-08-11
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉及SPGD的亚毫米沟槽结构的测量方法。包括：搭建白光干涉系统，利用白光干涉系统测量待测沟槽样品的结构，相机探测采集待测沟槽样品的等光程干涉图；进行灰度处理后获得沟槽灰度干涉图，计算沟槽灰度干涉图的对比度和高频信息量；随机生成多项式系数，利用SPGD算法对多项式系数进行迭代优化后，获得优化后的多项式系数；控制变形镜对光路光程进行补偿，移动变形镜或待测沟槽样品，相机采集获得一组光程补偿后的沟槽干涉图及每张沟槽干涉图对应的编号；使用重心法进行图像重建，获得待测沟槽样品的三维结构重建图。本发明实现对亚毫米级别高深宽比结构沟槽进行形貌检测，探测结构的深度可达到毫米级别。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107908076B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201710944259.5
申请日：2017-10-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光场调控光刻中的涡旋光剪切干涉调焦方法，它利用涡旋光的光场特性实现约束曝光，利用涡旋光的干涉特性实现调焦。从基片表面反射并经物镜透射的涡旋光束，在光学平行平板上进行剪切干涉。干涉图案当准焦时呈现对称性，当离焦时为非对称分叉图案，并且在正负离焦状态下其分叉图案正好相反，利用图案可实现调焦检测。本发明的调焦方法简单紧凑，涡旋光束一物两用，干涉调焦检测有很高的灵敏度，且干涉图案不受光源稳定性和光斑均匀性等影响。
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公开(公告)号：CN101701796A
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200910154354.0
申请日：2009-11-30
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种曲面胶厚检测装置及曲面胶厚逐点检测方法。该曲面胶厚检测装置包括激光发射器、导轨、分光棱镜、第一光功率计、第二光功率计和透镜，分光棱镜设置于导轨上，激光发射器发出的光线照射在分光棱镜上，经过分光棱镜后的透射光线照射在第一光功率计上，经过分光棱镜后的反射光线照射在透镜上，经过透镜的光线沿被检样品的胶层曲面球心方向入射，光线在被检胶层曲面反射后沿入射光路返回，依次经过透镜和分光棱镜后照射在第二光功率计上。本发明可实现无损地对曲面基底上的光刻胶厚度及分布进行逐点测量。
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公开(公告)号：CN101424880A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200810163137.3
申请日：2008-12-18
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种微纳光纤直写光刻的方法，该方法首先用蓝光单模光纤制备微纳光纤；然后在基片上涂敷一层光刻胶并将此基片固定在六维电控工作台上，通过双显微镜观察法使微纳光纤与基片对准后；给蓝光单模光纤通光，控制放置基片的六维电控工作台移动，使微纳光纤在基片上曝光出所需要的图形，显影、定影、后烘。本发明利用微纳光纤进行直写光刻的方法可以获得突破衍射极限的加工分辨率，弥补了传统激光直写的一大缺憾；方法简单，成本低廉，便于普及推广。
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公开(公告)号：CN100379328C
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200510061185.8
申请日：2005-10-20
Applicant: 浙江大学
IPC: H05K5/06 , C09J129/00 , C03C3/074 , G09F9/00
Abstract: 本发明公开了一种用于实现平板显示器件封接的封接框，采用非结晶型低熔点玻璃粉和有机粘接剂材料混合，在专用封接框模具中预烧定形和脱模制备；封接框为直角环形框，封接框外边长和宽等于被封接平板显示器件的长度和宽度相应尺寸，封接框宽度为0.4～5mm，高度等于显示器件前后板的间距加10～20μm之和，使用该封接框封接平板显示器件操作简便，封接边整齐美观，密封性能好，可实现封接边宽度0.4～5mm的可靠周边封接。
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公开(公告)号：CN1883940A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200610052300.X
申请日：2006-07-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 一种平板玻璃侧面印刷电极的丝印机，由丝印装置和印刷平台构成，其特征是所述印刷平台由固定平台和移动平台两部分组成，平板玻璃定位和固定装置安装在固定平台垂直面上，用以定位和固定垂直放置的平板玻璃板，移动平台与推动装置连接，移动平台安装在底座的两导轨上，由推动装置沿导轨方向推动，固定平台和移动平台面在同一水平面上。能够在平板玻璃侧面丝印导电浆料，制备整齐一致的引连电极，具有印刷操作方便，加工效率高，可靠性好，成品率高的特点。
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