公开(公告)号：CN106601858A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201611046887.3

申请日：2016-11-23

申请人： 浙江大学

发明人： 潘新花 ,  陆乔琦 ,  王伟豪 ,  叶志镇

IPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/0328 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/0328 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了一种基于纳米ZnO‑rGO复合材料的光电导型紫外探测器，该紫外探测器依次有低阻Si层、SiO2绝缘层、纳米ZnO‑rGO旋涂层和Al电极。其制备方法如下：先采用溶剂热法制备ZnO纳米颗粒，用APTES对ZnO纳米颗粒进行表面改性，再用水热法制备ZnO‑rGO复合物，然后将复合物溶液旋涂在Si/SiO2的SiO2面上，再在旋凃层表面镀上Al电极获得紫外探测器。相比基于纳米ZnO的紫外探测器，本发明的紫外探测器暗电流低，光电流、响应度、灵敏度都得到较大提升，且该方法制备的器件结构简单、方法简单易行、成本低、适合大面积制备，在军事、民用以及一些特殊领域有重要的应用价值和良好的应用前景。

公开(公告)号：CN106601858B

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201611046887.3

申请日：2016-11-23

申请人： 浙江大学

发明人： 潘新花 ,  陆乔琦 ,  王伟豪 ,  叶志镇

IPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/0328 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了一种基于纳米ZnO‑rGO复合材料的光电导型紫外探测器，该紫外探测器依次有低阻Si层、SiO2绝缘层、纳米ZnO‑rGO旋涂层和Al电极。其制备方法如下：先采用溶剂热法制备ZnO纳米颗粒，用APTES对ZnO纳米颗粒进行表面改性，再用水热法制备ZnO‑rGO复合物，然后将复合物溶液旋涂在Si/SiO2的SiO2面上，再在旋凃层表面镀上Al电极获得紫外探测器。相比基于纳米ZnO的紫外探测器，本发明的紫外探测器暗电流低，光电流、响应度、灵敏度都得到较大提升，且该方法制备的器件结构简单、方法简单易行、成本低、适合大面积制备，在军事、民用以及一些特殊领域有重要的应用价值和良好的应用前景。