公开(公告)号：CN114497247A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210072308.1

申请日：2022-01-21

申请人： 浙江大学杭州国际科创中心

发明人： 徐杨 ,  周嘉超 ,  李涵茜 ,  徐心艺 ,  田丰 ,  陈丽 ,  陈安哲 ,  俞滨

IPC分类号： H01L31/0328 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/112 ,  H01L31/18 ,  G06N3/06

摘要： 本发明公开一种基于二维材料的多功能光敏突触器件及其制备方法，器件包括：衬底，设置于衬底上方的栅极、源极、漏极及堆叠结构，所述堆叠结构包括第一二维材料层、第二二维材料层及第三二维材料层，栅极设置在衬底上方，栅极上方依次覆盖第一二维材料层、第二二维材料层及第三二维材料层，第三二维材料层上方分别覆盖源极及漏极且源极与漏极之间形成沟道。第二二维材料层中包括缺陷态的六方氮化硼，第一二维材料层作为吸光层，第二二维材料层作为隔离层，第三二维材料层作为读出层。本发明器件结构简单，工作原理简洁易懂，制备工艺简单，易于上手；基于纯二维薄膜材料垂直堆叠，尺寸小，有利于高密度高集成度的需要。