公开(公告)号：CN105397639B

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：CN201510908897.2

申请日：2015-12-09

申请人： 浙江工业大学

发明人： 洪滔 ,  王杨渝 ,  谢重 ,  朱胜伟

IPC分类号： B24B49/16 ,  B24B49/00 ,  B24B49/10

摘要： 本发明公开了一种悬浮抛光加工间隙检测方法，所采用的液动压抛光设备包括抛光盘，抛光液容器、抛光液容器固定板、测距传感器、螺旋机构、微调机构；通过调节微调机构将抛光盘与抛光液容器的中心位置对准，再调节螺旋机构，实现抛光盘和抛光液容器在Z轴方向的相对运动，从而调整悬浮抛光的加工间隙；再利用抛光液底部安装的测距传感器检测抛光液容器的移动距离，计算出抛光盘与抛光液容器之间的加工间隙。本发明能够准确的检测出加工间隙，并能实时的检测出由于液动压力的产生而使加工间隙发生的变化值，能够实现微米级的测量精度；本发明采用的电涡流式位移传感器具有高精度的位移测量精度，能适应复杂测试环境都，保证实验的精确性。

公开(公告)号：CN105397639A

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201510908897.2

申请日：2015-12-09

申请人： 浙江工业大学

发明人： 洪滔 ,  王杨渝 ,  谢重 ,  朱胜伟

IPC分类号： B24B49/16 ,  B24B49/00 ,  B24B49/10

CPC分类号： B24B49/165 ,  B24B49/00 ,  B24B49/105

摘要： 本发明公开了一种悬浮抛光加工间隙检测方法，所采用的液动压抛光设备包括抛光盘，抛光液容器、抛光液容器固定板、测距传感器、螺旋机构、微调机构；通过调节微调机构将抛光盘与抛光液容器的中心位置对准，再调节螺旋机构，实现抛光盘和抛光液容器在Z轴方向的相对运动，从而调整悬浮抛光的加工间隙；再利用抛光液底部安装的测距传感器检测抛光液容器的移动距离，计算出抛光盘与抛光液容器之间的加工间隙。本发明能够准确的检测出加工间隙，并能实时的检测出由于液动压力的产生而使加工间隙发生的变化值，能够实现微米级的测量精度；本发明采用的电涡流式位移传感器具有高精度的位移测量精度，能适应复杂测试环境都，保证实验的精确性。

公开(公告)号：CN205342814U

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201521017992.5

申请日：2015-12-09

申请人： 浙江工业大学

发明人： 杨杰 ,  王杨渝 ,  谢重 ,  朱胜伟

IPC分类号： B24B49/16 ,  B24B49/00 ,  B24B49/10

摘要： 本实用新型公开了一种悬浮抛光加工间隙检测装置，所采用的液动压抛光设备包括抛光盘，抛光液容器、抛光液容器固定板、测距传感器、螺旋机构、微调机构；通过调节微调机构将抛光盘与抛光液容器的中心位置对准，再调节螺旋机构，实现抛光盘和抛光液容器在Z轴方向的相对运动，从而调整悬浮抛光的加工间隙；再利用抛光液底部安装的测距传感器检测抛光液容器的移动距离，计算出抛光盘与抛光液容器之间的加工间隙。本实用新型能够准确的检测出加工间隙，并能实时的检测出由于液动压力的产生而使加工间隙发生的变化值，能够实现微米级的测量精度；本实用新型采用的电涡流式位移传感器具有高精度的位移测量精度，能适应复杂测试环境都，保证实验的精确性。