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公开(公告)号：CN107354439A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710479207.5
申请日：2017-06-22
申请人： 浙江工业大学
CPC分类号： C23C14/352 , C23C14/0073 , C23C14/0605 , C23C14/0658 , C23C14/345
摘要： 一种低内应力高硬度的DLC/a-CNx纳米多层膜的制备方法，所述方法按如下步骤进行：(1)将单晶硅片基体放入氢氟酸溶液中进行清洗，再分别用丙酮和无水乙醇清洗，使其表面清洁，粗糙度不高于Ra 0.1；(2)将石墨靶和前处理后的单晶硅片基体装入多靶磁控溅射沉积室，调整靶基距为60～80mm，将沉积室内的气压抽至1.5×10-3Pa以下，调整基体温度为100～250℃；(3)控制基体在石墨靶上方的周期性停留时间，在交替切换的沉积气氛中，于基体表面逐层交替沉积一定厚度的DLC膜和a-CNx膜，实现最底层为DLC膜、最上层为a-CNx膜的纳米多层结构，冷却后获得DLC/a-CNx纳米多层膜。本发明实现了DLC膜和a-CNx膜的良好结合、薄膜内应力的降低以及强烈的界面强化效应，获得具有优异性能的纳米多层膜。
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公开(公告)号：CN108977765A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810719102.7
申请日：2018-07-03
申请人： 浙江工业大学
摘要： 本发明涉及材料摩擦磨损与固体润滑技术领域，尤其涉及一种WSx/Me/a-C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法，所述固体润滑膜包括基体(1)，金属过渡层(2)和纳米多层膜(3)，所述纳米多层膜为由若干纳米复合单元组成的层状结构，所述纳米复合单元包括WSx层(4)，金属层(5)，非晶态碳膜层(6)和金属亚层(7)，所述金属层和金属亚层的材料相同或不同。本发明的固体润滑膜具有优异的抗氧化性能，摩擦因数较低，承载能力及耐磨性优良，与基体结合状态较好，使用寿命长；制备工艺简单，沉积过程易控制，成本低且制备过程安全无污染；能够应用于机械领域零部件表面的润滑防护膜，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN108977765B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201810719102.7
申请日：2018-07-03
申请人： 浙江工业大学
摘要： 本发明涉及材料摩擦磨损与固体润滑技术领域，尤其涉及一种WSx/Me/a‑C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法，所述固体润滑膜包括基体(1)，金属过渡层(2)和纳米多层膜(3)，所述纳米多层膜为由若干纳米复合单元组成的层状结构，所述纳米复合单元包括WSx层(4)，金属层(5)，非晶态碳膜层(6)和金属亚层(7)，所述金属层和金属亚层的材料相同或不同。本发明的固体润滑膜具有优异的抗氧化性能，摩擦因数较低，承载能力及耐磨性优良，与基体结合状态较好，使用寿命长；制备工艺简单，沉积过程易控制，成本低且制备过程安全无污染；能够应用于机械领域零部件表面的润滑防护膜，具有广阔的应用前景。
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