公开(公告)号：CN117469978A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202311695434.3

申请日：2023-12-11

申请人： 浙江求是半导体设备有限公司

发明人： 傅林坚 ,  陈聪 ,  孙菁阳 ,  曹建伟 ,  朱亮 ,  李佳怡

IPC分类号： F27B17/00 ,  F27D9/00 ,  F27D11/10

摘要： 本申请涉及碳化硅高温热处理设备领域，具体提供一种用于碳化硅的高温加热炉。所述用于碳化硅的高温加热炉包括炉壳装置、工艺管、第一加热装置和第二加热装置，工艺管的开口端与炉壳装置相连，工艺管的封闭端位于炉壳装置的炉壳内腔中，第一加热装置的加热端环绕在工艺管的外周，并位于开口端和封闭端之间，第一加热装置的接电端穿设在炉壳装置的侧壁上，第二加热装置的加热端设在封闭端的外侧，第二加热装置的接电端穿设在炉壳装置的一端。本申请用于碳化硅的高温加热炉将第一加热装置穿设在炉壳装置的侧壁上，以避免第一加热装置占用炉壳装置上方的空间，使高温加热炉整体的轴向长度降低，同时降低结构复杂性和拆装难度，并具有较大的接线空间。

公开(公告)号：CN220420531U

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202321385301.1

申请日：2023-06-01

申请人： 浙江求是半导体设备有限公司

发明人： 傅林坚 ,  孙菁阳 ,  曹建伟 ,  朱亮 ,  刘毅 ,  李佳怡

IPC分类号： H01L21/67

摘要： 本实用新型公开了一种冷却系统和应用该冷却系统的碳化硅高温热处理设备，所述冷却系统包括供液管路、排液管路、第一管路、第二管路和第二监控组件，所述第一管路连接在所述供液管路和所述排液管路之间，所述第一管路包括多个支路和第一监控组件，第一监控组件包括多个监控单元，多个所述支路适于分别延伸至多个第一冷却设备，多个所述监控单元一一对应地设于多个所述支路内，以分别调整多个所述支路内的液体流量；所述第二管路连接在所述供液管路和所述排液管路之间，以适于向第二冷却设备供液，所述第二监控组件设于所述第一管路和所述第二管路中的任意一者。本实用新型实施例的冷却系统具有冷却效率较高的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利