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公开(公告)号：CN117620903A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202410063452.8
申请日：2024-01-17
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
摘要： 本发明公开了一种石英舟切割装置，属于切割设备技术领域。一种石英舟切割装置，包括废水处理组件；废水处理组件固定设置于切割工作台下方，切割工作台的台面呈栅格设置，以连通切割工作台上表面和设置于切割工作台下方废水处理组件设置的进料口；废水处理组件包括外壳、过滤件和水槽；外壳的两侧分别开设有过孔；水槽的两端分别贯穿对应的外壳两侧的过孔，并与外壳固定连接；过孔上固定设置有第一筛网，第一筛网的外周一圈与过孔的边缘固定连接，以过滤从过孔通过的废水；废水经过过滤件过滤后，干净的水从水槽回到切割组件，而废水中混合着杂质的磨料被过滤件送到外部收集。
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公开(公告)号：CN117976587B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410132179.X
申请日：2024-01-30
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本发明公开了用于半导体器件制程设备中的石英舟，包括支撑结构、一对调节装置和多根槽棒，一对调节装置固定连接于支撑结构两侧，多个槽棒传动连接于一对调节装置；调节装置包括固定连接的限位组件一和限位组件二，限位组件一与支撑结构固定连接；限位组件一包括内弧和外弧，内弧和外弧之间形成有下部滑动轨道；限位组件二包括内环和外环，外环与外弧固定连接，外环和内环间固定连接有多个分道块，使得内环和外环之间形成多个上部滑动轨道，内环和内弧上均滑动连接多个止动组件；槽棒端部贯穿对应的下部滑动轨道或上部滑动轨道，以使得槽棒沿下部滑动轨道或上部滑动轨道移动，止动组件跟随槽棒移动，对槽棒抵接，以此形成多个不同规格的晶圆放置空间。
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公开(公告)号：CN117976587A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410132179.X
申请日：2024-01-30
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本发明公开了石英舟用于半导体器件制程设备，包括支撑结构、一对调节装置和多根槽棒，一对调节装置固定连接于支撑结构两侧，多个槽棒传动连接于一对调节装置；调节装置包括固定连接的限位组件一和限位组件二，限位组件一与支撑结构固定连接；限位组件一包括内弧和外弧，内弧和外弧之间形成有下部滑动轨道；限位组件二包括内环和外环，外环与外弧固定连接，外环和内环间固定连接有多个分道块，使得内环和外环之间形成多个上部滑动轨道，内环和内弧上均滑动连接多个止动组件；槽棒端部贯穿对应的下部滑动轨道和上部滑动轨道，以使得槽棒沿下部滑动轨道或上部滑动轨道移动，止动组件跟随槽棒移动，对槽棒抵接，以此形成多个不同规格的晶圆放置空间。
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公开(公告)号：CN118637815A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410827200.8
申请日：2024-06-25
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
IPC分类号： C03B23/20 , H01L21/673 , C03B20/00
摘要： 本发明公开了石英舟托横档粘接机，包括侧板夹装机构、石英管夹装机构、横板夹装机构、板面焊枪和石英管焊枪，侧板夹装机构用于对组成石英舟的石英侧板进行夹持固定，石英管夹装机构用于对组成石英舟的若干石英管进行夹持固定，横板夹装机构用于对组成石英舟的石英横板进行夹持固定，板面焊枪用于对石英侧板和石英横板的连接处进行焊接，石英管焊枪用于对石英横板和石英管的连接处进行焊接，本发明通过设置的侧板夹装机构、石英管夹装机构和横板夹装机构可以对组成石英舟的石英侧板、石英横板和石英管进行快速固定和拼接，并通过石英管焊枪、第二升降机构、板面焊枪和第一升降机构对石英舟上的所有焊点位置快速进行焊接，有效提高焊接效率。
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公开(公告)号：CN220348765U
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202321726544.7
申请日：2023-07-04
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
IPC分类号： B28D7/04
摘要： 本实用新型公开的一种石英舟槽棒开槽的固定工装，包括长条形基座、密封圈以及吸真空连接组件，长条形基座的上部开设有工装槽，工装槽的槽底上居中开设有密封圈安装槽。本实用新型提供的石英舟槽棒开槽的固定工装，在使用时，将石英舟槽棒放置在工装槽的内部，且石英舟槽棒正好压在密封圈的上部，然后利用吸真空连接组件通过吸真空通槽将若干真空槽内部的空气吸走，使得若干真空槽的内部产生负压，从而利用负压将石英舟槽棒固定住，使得对石英舟槽棒的固定比较方便，可以大幅提高石英舟槽棒的开槽效率，尤为重要的是，可避免在对石英舟槽棒固定的过程中将石英舟槽棒的表面压伤，从而保证石英舟槽棒的外表面质量。
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公开(公告)号：CN221370977U
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202323464918.5
申请日：2023-12-19
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
IPC分类号： C03B23/20
摘要： 本实用新型涉及石英加工技术领域，且公开了石英件高频焊接装置，包括治具和感应加热分机。感应加热分机左侧安装有直线丝杆，上夹板和下夹板可上下滑动。它们各自安装有半环形的上感应线圈组和下感应线圈组。上下感应线圈组连接有同轴的半环形治具。当上夹板和下夹板夹紧时，它们形成能产生高频电磁场的高频线圈组。高频线圈组产生的高频电磁场，将治具加热，通过精确控制磁场的频率和强度，实现均匀加热特定区域，避免石英件受热不均匀引发的热应力和应变，减少开裂和变形风险。此外，适用于不同尺寸和形状的石英件，成本较低，易于操作。此装置还可局部加热，简化了长石英件的焊接与加热过程，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN221542499U
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202420378666.X
申请日：2024-02-29
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
摘要： 本实用新型公开的一种石英舟存放盘，包括盘体，盘体顶部开设有存放槽，存放槽内底部等间距开设有若干个卡槽；存放槽内部的一端设置有导料三棱板，本实用新型通过在盘体内部存放槽的内底部开设与石英舟相适配的卡槽，石英舟放置在盘体的内部时即可卡接在卡槽的内部，可以有效避免石英舟在盘体的内部晃动掉落，并且卡槽为略微倾斜状设置，可以使得石英舟位于卡槽的内部时为一端朝上倾斜状，卡槽内部的石英舟在取出时更加的便捷，盘体内部一端的导料三棱板使石英舟放置在卡槽的内部时更加便捷。
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公开(公告)号：CN221522397U
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202323303209.9
申请日：2023-12-05
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
IPC分类号： C03B20/00
摘要： 本实用新型涉及石英加工技术领域，且公开了一种异形石英棒加工装置，包括圆桶形状的外壳，具有多个进水口和出水口，以及四个以上沿轴心旋转的模具。外壳底部有扇形的出料口，顶部安装有盖板和漏斗形状的进料口。外壳内还配备了上挡板和下挡板防止石英和冷却液泄露。通过进水口注满冷却液，并通过齿轮带动模具旋转，使模具充分接触冷却液，快速冷却软化石英，提高加工效率。同时，多根模具和盖板结构与推料结构的配合使用，实现了自动加工过程，将软化石英注入模具后旋转冷却，然后通过推料结构将冷却加工好的石英棒推出，减少人工操作，提高生产效率。
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