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公开(公告)号：CN117878039A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202410041751.1
申请日：2024-01-10
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
摘要： 本发明公开了用于半导体制造过程中石英舟转移设备，属于半导体领域。用于半导体制造过程中石英舟转移设备，包括设置在第一工位与第二工位之间的安装架、设置在安装架上的转移机构和夹持机构；所述夹持机构包括纵向滑动在安装架上的夹持架、设置在夹持架上的菱形伸缩架。所述菱形伸缩架上等间距安装有多个定位杆；随着菱形伸缩架的伸缩，相邻的两个定位杆之间的间距同步变化；各个所述定位杆外壁设置有膨胀气囊；当膨胀气囊发生膨胀时，相邻的两个膨胀气囊将加紧一个晶圆。本方案通过控制菱形伸缩架运动，可以改变膨胀气囊之间的间距，可以适配不同型号的石英舟，使用场景广泛，无需人工更换配件。
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公开(公告)号：CN117913005A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410080061.7
申请日：2024-01-19
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种石英舟热处理装置，属于半导体加工。一种石英舟热处理装置，包括加热室、用于承载晶圆的石英舟、用于加热石英舟与晶圆的加热机构；所述石英舟包括连接件、两个对称设置的转动安装在连接件上的转动半体；所述转动半体上等间距设置有卡槽；两个转动半体运动至相互靠近的位置时，石英舟上的各个晶圆同轴排列，此时石英舟上相邻的两个晶圆的间隔为第一距离；两个转动半体分离后，石英舟上相邻的两个晶圆位于不同的转动半体上。本方案两个转动半体分离，使奇数位和偶数位的晶圆位于不同的转动半体上，增大晶圆之间的间距，让热量更加方便的进入各个晶圆之间，提高晶圆热处理的效率。
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公开(公告)号：CN117878039B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410041751.1
申请日：2024-01-10
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
摘要： 本发明公开了用于半导体制造过程中石英舟转移设备，属于半导体领域。用于半导体制造过程中石英舟转移设备，包括设置在第一工位与第二工位之间的安装架、设置在安装架上的转移机构和夹持机构；所述夹持机构包括纵向滑动在安装架上的夹持架、设置在夹持架上的菱形伸缩架。所述菱形伸缩架上等间距安装有多个定位杆；随着菱形伸缩架的伸缩，相邻的两个定位杆之间的间距同步变化；各个所述定位杆外壁设置有膨胀气囊；当膨胀气囊发生膨胀时，相邻的两个膨胀气囊将加紧一个晶圆。本方案通过控制菱形伸缩架运动，可以改变膨胀气囊之间的间距，可以适配不同型号的石英舟，使用场景广泛，无需人工更换配件。
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公开(公告)号：CN220113120U
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202321158718.4
申请日：2023-05-15
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本实用新型涉及石英产品假接治具技术领域，公开的一种石英机械手立式假接治具包括：定位底板；定位立板，其一侧开设有能够便于石英机械手工件卡接固定的定位槽；上固定块；上夹紧板，其可拆卸的安装在所述定位立板和上固定块之间的顶部上；侧夹紧板，其横向滑动安装在所述定位立板朝向定位槽的一侧侧壁上；第一模座组件；以及第二模座组件。本实用新型便于石英机械手工件的夹持固定，解决了由于加工人员个人能力以及石墨块结构的不稳定性，而导致的石英机械手需要反复多次微调修理的技术问题，在该假接治具对石英机械手工件的夹持固定下，从而能够使石英机械手的加工效率提高，减少石英机械手的生产周期，以满足批量生产需求。
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公开(公告)号：CN221522397U
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202323303209.9
申请日：2023-12-05
申请人： 浙江泓芯半导体有限公司
IPC分类号： C03B20/00
摘要： 本实用新型涉及石英加工技术领域，且公开了一种异形石英棒加工装置，包括圆桶形状的外壳，具有多个进水口和出水口，以及四个以上沿轴心旋转的模具。外壳底部有扇形的出料口，顶部安装有盖板和漏斗形状的进料口。外壳内还配备了上挡板和下挡板防止石英和冷却液泄露。通过进水口注满冷却液，并通过齿轮带动模具旋转，使模具充分接触冷却液，快速冷却软化石英，提高加工效率。同时，多根模具和盖板结构与推料结构的配合使用，实现了自动加工过程，将软化石英注入模具后旋转冷却，然后通过推料结构将冷却加工好的石英棒推出，减少人工操作，提高生产效率。
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