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公开(公告)号：CN118130398A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202211481607.7
申请日：2022-11-24
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 一种光强调节机构和照明系统，光强调节机构适于设置在光束的光路上，包括具有透光开口的可旋转主体部，可旋转主体部包括分布在其中心周围的环形调光区，透光开口位于环形调光区中，沿圆周方向，环形调光区的不同位置的透光开口的透光面积递减，其中，在所述可旋转主体部的旋转过程中，光束经由所述环形调光区的不同位置的透光开口透过所述可旋转主体部。由于沿圆周方向，环形调光区的不同位置的透光开口的透光面积递减，因此随着可旋转主体部的旋转，光束照射在可旋转主体部的区域的透光面积不同，从而通过旋转该可旋转主体部来控制光束的照射区域的通光比例，进而实现光强的调节。
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公开(公告)号：CN220553405U
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202321519651.2
申请日：2023-06-14
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种晶圆检测设备，包括光学系统、系统大板、运动平台和平整度调节机构，其中，运动平台、平整度调节机构、系统大板和光学系统依次层叠设置，平整度调节机构被配置为调节系统大板与运动平台之间的距离和角度。本实用新型的晶圆检测设备在使用时，通过调节平整度调节机构，以调节系统大板与运动平台之间的距离和角度，从而实现光学系统物镜的聚焦的调整，保证光学系统的焦面与运动平台平行或者平行到一定范围。
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公开(公告)号：CN220912950U
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202321824865.0
申请日：2023-07-12
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种光强调节机构、照明装置及光学检测系统，包括滤光片组和驱动组件，其中，滤光片组包括两个至少部分呈重叠布置的滤光片，且在重叠布置的区域中的至少部分区域配置为通光区域，滤光片包括全通区域和透过率渐变区域；驱动组件用于驱动滤光片组的两个滤光片执行第一运动行程和第二运动行程；并且第一运动行程配置为两个滤光片的全通区域在通光区域重叠，第二运动行程配置为两个滤光片的透过率渐变区域在通光区域以透过率相互对等补偿的方式重叠。该光强调节机构，能够使得透过通光区域的光束强度分布更加均匀，也即使得光强调节机构的滤光片对应通光孔径内的透过率更加均匀。
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公开(公告)号：CN220525679U
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202321827058.4
申请日：2023-07-12
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 一种检测设备以及检焦装置，检测设备包括运动装置、检焦装置和成像装置；运动装置具有移动平台，移动平台用于承载待测件并带动待测件沿预设运动方向进行移动；检焦装置包括检焦模块以及调节模块；检焦模块被配置为向待测件投影检焦图案；调节模块被配置为设定检焦模块产生的检焦图案的投影角度，以使得检焦图案中投影特征的预设延伸方向与移动平台的预设运动方向之间具有倾斜关系；成像装置包括探测器和光学镜组，探测器用于通过光学镜组对待测件进行取像以得到检测图像；检测图像包括投影特征对应的第一成像特征，第一成像特征被用于确定光学镜组和待测件的距离。本申请可以提高检测设备的检测精度。
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公开(公告)号：CN219391795U
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202223134086.6
申请日：2022-11-24
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 一种光强调节机构和照明系统，光强调节机构适于调节光束的透光率，包括具有透光开口的可旋转光强调制件，包括用于设置在光束的光路上的环形调光区；透光开口位于环形调光区中，环形调光区中的透光开口包括沿圆周方向延伸的透光线槽组以及沿圆周方向设置于透光线槽组侧部的第一透光孔，透光线槽组包括多个沿径向依次排布的透光线槽，各个透光线槽的宽度均沿同一旋转方向递减或递增，第一透光孔与各个透光线槽宽度最大的端部均相连通，且第一透光孔的尺寸大于或等于通光孔径区域的尺寸。随着光强调制件的旋转，通光孔径区域的透光率不同，从而通过旋转光强调制件来使光束经由环形调光区不同位置的透光开口透过，以控制通光比例，进而实现光强调节。
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公开(公告)号：CN220525680U
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202321827755.X
申请日：2023-07-12
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 本申请涉及检测技术领域，具体涉及一种光学调节装置和照明系统。光学调节装置包括转盘和支撑且驱动转盘绕转盘的轴线转动的转动组件；转盘具有多个第一光通道和至少一个第二光通道，第一光通道用于限制光束通过量和/或视场大小，第二光通道用于使光束自由穿过；各第一光通道的截面形状各异；各第一光通道和第二光通道在转盘的周向上间隔排布，转盘用于通过转动将其中一个第一光通道或第二光通道切入光束传输的光路。这样能够通过截面形状各异的光通道对光束的角度进行调整，以满足照明光束有多种不同角度的调节需求，并且还能够使光束通过第二光通道以实现照明光束无角度调节的需求，有助于提高照明系统对各种检测需求的适应性。
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公开(公告)号：CN219916076U
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202321594642.X
申请日：2023-06-21
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 一种光强调整装置及检测设备，其中，光强调整装置包括驱动件和用于调整入射光的光强度的滤光件，驱动件被设置成选择性地驱使滤光件沿相交于入射光的光轴的预设路径运动，以将滤光件在预设路径的方向上的不同位置切换至入射光的光轴上；滤光件的光学密度自滤光件在预设路径的方向上的一端朝相对的另一端逐渐增加或逐渐减小。借助驱动件驱使滤光件沿相交于入射光光轴的路径运动，可基于滤光件的光学密度或者透过率在其运动路径的方向上呈线性渐变的特点，将滤光件的不同位置切换至光轴上，从而实现对入射光光强的连续动态调整，以最终将光强调整为与对应被测物的检测需求相适应的目标光强，为保证检测结果的准确性创造有利条件。
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公开(公告)号：CN220552761U
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202321594605.9
申请日：2023-06-21
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 一种调节装置及检测设备，调节装置包括支撑件、承载件和调节件；承载件与支撑件转动配合设置，用以承载和固定被调件；调节件可直线移动地设置于支撑件并位于承载件的边侧；调节件能够通过抵推承载件的受力斜面，而驱使承载件带动被调件绕预设轴线相对支撑件转动；其中，调节件的移动轨迹与预设轴线的方向保持正交，承载件的受力斜面相对于调节件的移动轨迹倾斜设置。在旋转调节对被调件时，调节件可以借助受力斜面抵推承载件相对支撑件转动，从而将被调件调整至合适的角度位置；由于受力斜面是相对于调节件的移动轨迹倾斜设置的，这样可以有效延长承载件的转动力臂，不但能够使得调节操作更为省力、顺畅、平稳，也为精确的微调调节创造了有利条件。
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公开(公告)号：CN220399246U
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202321701306.0
申请日：2023-06-30
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种光阑切换装置及检测设备，光阑切换装置包括支架、光阑切换板与遮挡件，其中，光阑切换板设置有多组通光部，光阑切换板活动设置于支架，以使各组通光部能够切换至通光位。遮挡件活动设置于支架，以在避让位与遮挡位之间转换，其中，当遮挡件在避让位时，以允许外部的光线能够从通光部传输至待检测元件；遮挡件在遮挡位时，遮挡件遮挡位于遮挡位的通光部，以阻挡外部的光线从通光部传输至待检测元件。在更换通光位的通光部时，可以采用遮挡件遮挡通光位的通光部，即遮挡住光线的照射路径，从而实现照明光路的关闭，由此可见，外部的光源始终保持稳定工作，无须调整外部的光源，保证了待检测元件的检测效率。
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公开(公告)号：CN220397324U
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202321776054.8
申请日：2023-07-07
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
IPC分类号： F21K9/65 , G01N21/01 , G01N21/95 , F21V9/04 , F21V9/40 , F21V14/00 , G02B5/20 , G02B26/00 , G02B27/09 , F21Y115/10 , F21Y115/30
摘要： 本申请涉及检测技术领域，具体涉及一种照明光路结构和检测系统，照明光路结构包括光源、第一光学组件、滤光组件和减光组件，光源提供初始光束，第一光学组件接收初始光束并产生非预设特性的第一光束；滤光组件用于对第一光束的波段进行选择性调节以出射预设波段的第二光束，减光组件用于对第二光束的光强进行调整以出射预设光强的照明光束；这样初始光束依次通过梳理、波段调节和光强调节，实现对初始光束的调制整合，满足多种不同需求的照明条件，使晶圆表面的缺陷清晰易见，方便后续对晶圆表面缺陷的判定，有助于提高检测系统的检测准确度和检测效率。
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