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公开(公告)号：CN106893993B
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201710136620.1
申请日：2017-03-08
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 本发明涉及种溅射镀膜设备及其镀膜腔室,镀膜腔室包括:外壳,所述外壳围成镀膜腔,所述外壳包括底壁、前壁及与所述前壁相对的后壁;阴极,设置于所述前壁上,且沿所述前壁排列;基架,可滑动地设置于所述底壁上,所述基架的运动方向与所述阴极排列的方向致;支架,可转动地设置于所述基架上,所述支架能够承载样品;及,驱动机构,用于驱动所述支架转动。上述溅射镀膜设备及其镀膜腔室,采用了基架、支架及驱动机构相配合的结构,从进样到镀膜再到出样的过程中,样品均随着基架移动,以实现连续生产。同时,驱动机构能够驱动支架转动,以实现对非平面异形样品各个表面上的均匀镀膜。
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公开(公告)号：CN106876518A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710016534.7
申请日：2017-01-10
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 本发明涉及一种薄膜太阳能电池刻划装置及方法，包括：工作台；第一导轨，设置于工作台上，用于滑动承载薄膜太阳能电池；第二导轨，设置于工作台上，且位于第一导轨的上方，第二导轨的延伸方向与第一导轨的延伸方向正交，并与多条预划线的延伸方向相互平行；刻划组件，可滑动地设置于第二导轨上，刻划组件包括间隔设置的刻划头和摄像头，刻划头能够对薄膜太阳能电池进行刻划，摄像头能够采集多条预划线的图像信息；及处理模块，与刻划组件通讯连接，并能够根据多条预划线的图像信息获取多条预划线的路径，得到薄膜太阳能电池对应的多条划线的路径，以控制刻划头对薄膜太阳能电池进行刻划。上述装置可以提高薄膜太阳能模组整体转化效率。
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公开(公告)号：CN103022249B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210535592.8
申请日：2012-12-12
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 一种制备铜铟镓硒光吸收层的装置，包括真空系统和衬底传动系统，由真空系统维持真空的进样室、镀膜室及出样室；衬底传动系统包括衬底传动装置和衬底装载装置；镀膜室包括第一镀膜室，用于在衬底上沉积铟、镓和硒，并维持衬底温度在350~400℃；第二镀膜室，用于在硒蒸汽的气氛下在衬底上沉积铜，并维持衬底温度在550~650℃；第三镀膜室，用于在硒蒸汽的气氛下在衬底上继续沉积铜，并维持衬底温度在550~650℃；蒸发监控装置，蒸发监控装置用于监测衬底表面温度、衬底在监测读数快速上升的时候离开第三镀膜室；第四镀膜室，用于在硒蒸汽的气氛下在衬底上沉积铟、镓和硒，并维持衬底温度在550~650℃。本发明还提供一种制备铜铟镓硒光吸收层的方法。
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公开(公告)号：CN102994958A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210544335.0
申请日：2012-12-14
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 一种热蒸发镀膜设备的热蒸发源，包括用于沉积薄膜的衬底、用于装载蒸发材料的坩埚，及用于加热所述坩埚的加热组件；所述坩埚上设有多个与所述衬底相对的喷嘴，所述多个喷嘴中的每两个相邻喷嘴之间的距离不全相等。采用非均匀分布的喷嘴排列方式，改变了每个喷嘴喷射到衬底平面上的位置，而衬底上的总的喷射材料是各个喷嘴喷射材料的叠加，从而改善蒸发镀膜的均匀性。
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公开(公告)号：CN107130225B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201710419898.X
申请日：2017-06-06
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 本发明公开了一种自旋转立式镀膜基架，包括基架本体和支架，所述基架本体包括顶部的第一导向部和底部的第二导向部，所述支架用于承载待镀膜的样品，可旋转地设于所述基架本体上。本发明还公开了一种镀膜设备。本发明能够实现了流水线式生产，在保证薄膜质量的前提下，可以对样品多个表面一次性镀膜，镀膜工艺耗费时间短，产业化效率高，适合大规模工业化生产。
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公开(公告)号：CN107130225A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710419898.X
申请日：2017-06-06
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 本发明公开了一种自旋转立式镀膜基架，包括基架本体和支架，所述基架本体包括顶部的第一导向部和底部的第二导向部，所述支架用于承载待镀膜的样品，可旋转地设于所述基架本体上。本发明还公开了一种镀膜设备。本发明能够实现了流水线式生产，在保证薄膜质量的前提下，可以对样品多个表面一次性镀膜，镀膜工艺耗费时间短，产业化效率高，适合大规模工业化生产。
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公开(公告)号：CN102994958B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201210544335.0
申请日：2012-12-14
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 一种热蒸发镀膜设备的热蒸发源，包括用于沉积薄膜的衬底、用于装载蒸发材料的坩埚，及用于加热所述坩埚的加热组件；所述坩埚上设有多个与所述衬底相对的喷嘴，所述多个喷嘴中的每两个相邻喷嘴之间的距离不全相等。采用非均匀分布的喷嘴排列方式，改变了每个喷嘴喷射到衬底平面上的位置，而衬底上的总的喷射材料是各个喷嘴喷射材料的叠加，从而改善蒸发镀膜的均匀性。
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公开(公告)号：CN102912310B
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201210327591.4
申请日：2012-09-06
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 一种玻璃基片装载装置，包括：与地面垂直设置的框架，框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口，窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸；相互间隔设置的两个连接件，每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连，另一端与玻璃基片的顶部可转动相连，两个连接件的两个另一端的间距随着玻璃基片受热膨胀而伸长，且随着玻璃基片冷却收缩而缩小；及限位件，设于框架位于窗口的底部，限位件上开设有收容玻璃基片的底部的凹槽。当玻璃基片膨胀时，玻璃基片的横向间距会增大，两个连接件也会随之自然的张开，连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。本发明还提供一种应用了玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。
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公开(公告)号：CN103474484A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310423223.4
申请日：2013-09-16
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明涉及一种太阳电池器件的背电极及其制备方法以及太阳电池器件。该太阳电池的背电极包括金属导电层和层叠于所述金属导电层上的氧化铝钝化层，所述氧化铝钝化层上具有多个纳米尺寸的孔洞。金属导电层作为太阳电池器件的“+”极，收集并传输电流。氧化铝钝化层抑制表面载流子复合，多个纳米孔洞形成电流通道，收集和导通电流，这种复合结构的背电极既发挥了氧化铝钝化层的钝化作用，又不妨碍光生电流的通过，达到降低界面缺陷态密度，降低光生载流子的表面复合速率，提高太阳电池器件的光电转化效率的效果。
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公开(公告)号：CN107104634A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201710272604.5
申请日：2017-04-24
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明提供一种光伏控制系统及光伏装置，所述光伏装置包括底座、设置于底座上的保护盒、设置于保护盒内的第一转轴、设置于保护盒上的太阳能电池组件，太阳能电池组件包括与第一转轴相对固定的太阳能电池，太阳能电池组件具有位于保护盒外的展开状态及收容于保护盒内的折叠状态，保护盒上设置有供太阳能电池组件在展开状态和折叠状态之间转换的开口，第一转轴用于带动太阳能电池组件在展开状态和折叠状态之间进行转换。本发明提供的光伏装置能够避免恶劣天气对太阳能电池组件造成损坏，减少整个光伏装置的收纳面积。本发明提供的光伏控制系统包括控制系统，通过所述控制系统可以自动控制所述第一转轴的转动，从而实现对所述光伏装置的智能控制。
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