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公开(公告)号：CN103293660B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310215186.8
申请日：2013-05-31
申请人： 华中科技大学 , 广西师范学院 , 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明公开了一种微型F-P腔可调谐滤波器及其制备方法，包括衬底，在衬底片的一面附着增透膜，另一面附着第一布拉格反射镜，在第一布拉格反射镜上附着第一电极和第二电极；在第一电极上附着四个金属桥墩，在四个金属桥墩上附着有桥面；桥面由四个悬臂梁和可动隔膜构成，每一个悬臂梁为L型，一个悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与可动隔膜连接；可动隔膜为正方形且中心嵌有第二布拉格反射镜；第一布拉格反射镜与第二布拉格反射镜构成F-P腔的谐振腔；通电后，四个悬臂梁发生弹性形变并带动可动隔膜和第二布拉格反射镜在垂直于第一布拉格反射镜的方向移动，改变谐振腔的腔长，实现滤波器的可调谐功能，该滤波器能有大的调谐范围，响应速度快。
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公开(公告)号：CN103345057B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201310215152.9
申请日：2013-05-31
申请人： 华中科技大学 , 广西师范学院 , 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明提供了一种微型的桥式结构及其制备方法，包括四个悬臂梁，金属桥面，四个金属桥墩和衬底；每一个悬臂梁均为L型结构，悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与金属桥面连接；金属桥面与悬臂梁位于同一个平面，四个悬臂梁将金属桥面悬挂于衬底上，并在金属桥面的下底面与衬底之间形成空腔结构。方法包括在洁净的衬底表面制备金属桥墩；在形成有金属桥墩的衬底表面涂覆牺牲层；对牺牲层进行光刻处理后将金属桥墩顶部的牺牲层去除并露出金属桥墩的顶部；对牺牲层进行固化处理；在固化后的牺牲层上制备金属桥面；去除金属桥面底部的牺牲层形成空腔，搭建桥式结构。本发明提供的桥式结构，可调谐范围大，桥面平行度好。
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公开(公告)号：CN103293660A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310215186.8
申请日：2013-05-31
申请人： 华中科技大学 , 广西师范学院 , 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明公开了一种微型F-P腔可调谐滤波器及其制备方法，包括衬底，在衬底片的一面附着增透膜，另一面附着第一布拉格反射镜，在第一布拉格反射镜上附着第一电极和第二电极；在第一电极上附着四个金属桥墩，在四个金属桥墩上附着有桥面；桥面由四个悬臂梁和可动隔膜构成，每一个悬臂梁为L型，一个悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与可动隔膜连接；可动隔膜为正方形且中心嵌有第二布拉格反射镜；第一布拉格反射镜与第二布拉格反射镜构成F-P腔的谐振腔；通电后，四个悬臂梁发生弹性形变并带动可动隔膜和第二布拉格反射镜在垂直于第一布拉格反射镜的方向移动，改变谐振腔的腔长，实现滤波器的可调谐功能，该滤波器能有大的调谐范围，响应速度快。
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公开(公告)号：CN106672893B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201611249408.8
申请日：2016-12-29
摘要： 本发明公开了一种可调谐滤波器，其包括：半导体衬底；第一反射平面，形成在半导体衬底上；底部电极，包括相互电性绝缘的第一电极和第二电极，形成在第一反射平面上；支撑元件，设置在所述第二电极上，用于支撑金属桥面并将金属桥面电性连接到所述第二电极；金属桥面，由所述支撑元件支撑并且与所述底部电极相对设置，所述金属桥面为关于其中心点呈旋转对称的具有迷宫状的悬梁框架结构；第二反射平面，设置在金属桥面中并且从朝向第一反射平面的一侧暴露出。本发明还公开了一种可调谐滤波器阵列，其包括：具有读出电路的基底；阵列设置在所述基底上多个可调谐滤波器，其中，所述可调谐滤波器为如前所述的可调谐滤波器。
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公开(公告)号：CN106672893A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201611249408.8
申请日：2016-12-29
CPC分类号： B81B7/02 , G01J3/2823 , G01N21/01
摘要： 本发明公开了一种可调谐滤波器，其包括：半导体衬底；第一反射平面，形成在半导体衬底上；底部电极，包括相互电性绝缘的第一电极和第二电极，形成在第一反射平面上；支撑元件，设置在所述第二电极上，用于支撑金属桥面并将金属桥面电性连接到所述第二电极；金属桥面，由所述支撑元件支撑并且与所述底部电极相对设置，所述金属桥面为关于其中心点呈旋转对称的具有迷宫状的悬梁框架结构；第二反射平面，设置在金属桥面中并且从朝向第一反射平面的一侧暴露出。本发明还公开了一种可调谐滤波器阵列，其包括：具有读出电路的基底；阵列设置在所述基底上多个可调谐滤波器，其中，所述可调谐滤波器为如前所述的可调谐滤波器。
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公开(公告)号：CN103345057A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310215152.9
申请日：2013-05-31
申请人： 华中科技大学 , 广西师范学院 , 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明提供了一种微型的桥式结构及其制备方法，包括四个悬臂梁，金属桥面，四个金属桥墩和衬底；每一个悬臂梁均为L型结构，悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与金属桥面连接；金属桥面与悬臂梁位于同一个平面，四个悬臂梁将金属桥面悬挂于衬底上，并在金属桥面的下底面与衬底之间形成空腔结构。方法包括在洁净的衬底表面制备金属桥墩；在形成有金属桥墩的衬底表面涂覆牺牲层；对牺牲层进行光刻处理后将金属桥墩顶部的牺牲层去除并露出金属桥墩的顶部；对牺牲层进行固化处理；在固化后的牺牲层上制备金属桥面；去除金属桥面底部的牺牲层形成空腔，搭建桥式结构。本发明提供的桥式结构，可调谐范围大，桥面平行度好。
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公开(公告)号：CN104764531A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201510111846.7
申请日：2015-03-13
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： G01J5/10
摘要： 本发明适用于传感技术领域，提供了一种集成红外热传感器，包括光输出装置、微环波导阵列组件、直波导阵列组件及光电探测器；微环波导阵列组件包括第一衬底及多个谐振波长不同的微环波导，其排布成并列的微环波导列；直波导阵列组件包括第二衬底及多个直波导，微环波导列与直波导一一上下对应且可实现参考光的耦合传输，还包括输入波导及输出波导；第一、第二衬底通过支撑柱对接。本发明在同一衬底上制作微环波导阵列，在另一衬底制作直波导阵列，将两组件组合构成像元阵列，在工艺上更易实现，尺寸、对位更加精准，有利于传感器的灵敏度和响应速度的提升，并且可采用一个探测器探测全部像元的输出光，既简化了结构又节约了成本。
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公开(公告)号：CN104764531B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201510111846.7
申请日：2015-03-13
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： G01J5/10
摘要： 本发明适用于传感技术领域，提供了一种集成红外热传感器，包括光输出装置、微环波导阵列组件、直波导阵列组件及光电探测器；微环波导阵列组件包括第一衬底及多个谐振波长不同的微环波导，其排布成并列的微环波导列；直波导阵列组件包括第二衬底及多个直波导，微环波导列与直波导一一上下对应且可实现参考光的耦合传输，还包括输入波导及输出波导；第一、第二衬底通过支撑柱对接。本发明在同一衬底上制作微环波导阵列，在另一衬底制作直波导阵列，将两组件组合构成像元阵列，在工艺上更易实现，尺寸、对位更加精准，有利于传感器的灵敏度和响应速度的提升，并且可采用一个探测器探测全部像元的输出光，既简化了结构又节约了成本。
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