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发明授权
晶圆测试用探针台有权转让

公开(公告)号：CN113970690B

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202010727656.9

申请日：2020-07-23

申请人： 深圳市伽蓝特科技有限公司

发明人： 孙军 , 潘亮良 , 徐志源

IPC分类号： G01R31/28

摘要： 本申请涉及半导体测试装置的技术领域，尤其是涉及一种晶圆测试用探针台，其包括机架，机架上设有测试装置和转料装置，转料装置包括机械手，还包括转动架设在机架上的旋转支架，机架上设有用于驱使旋转支架转动的旋转电机，旋转支架的旋转轴心水平，旋转支架位于测试装置下方，旋转支架上滑动设有底座，旋转支架上设有用于驱使底座滑移的驱动机构，底座成对设置，两个底座的滑移方向相反，底座背向旋转支架中心一侧的面上设有吸附板，底座通过横移组件和纵移组件与吸附板相连，吸附板背向底座一侧开设有气孔，气孔朝向底座的一端接有气泵。本申请具有提高测试效率的效果。