用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离系统

    公开(公告)号:CN1099128A

    公开(公告)日:1995-02-22

    申请号:CN94101493.2

    申请日:1994-03-04

    申请人: 清华大学

    IPC分类号: G01B11/02 G01B9/02

    摘要: 本发明涉及一种用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离的系统,属精密测量技术领域。该测距系统包括产生偏振方向正交的两个波长的激光器,实现双波长外差干涉的外差干涉仪,将外差信号进行光电转换的声光调制器以及外差信号的相位检测电路和数据处理单元。本发明的测距系统具有测量时间短、测量精度高、不易受环境影响、抗干扰能力强以及干涉仪结构简单等优点。