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公开(公告)号：CN102506715A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110309474.0
申请日：2011-10-13
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于微片激光器回馈干涉仪的位移数据处理方法，包括如下步骤：包括有微片激光器回馈干涉仪、混频器、滤波器、放大器、单端信号适配器、相位计和计算机的外差信号处理系统；将从微片激光器回馈干涉仪得到的光信号输入到滤波器、放大器对信号进行滤波放大处理得到频率单一的光信号；将产生作为稳定的标准信号参与外差相位测量的电信号依次输入到滤波器、放大器对电信号进行滤波放大处理得到频率单一、大幅值的电信号；将产生的信号分别输入到所述单端信号适配器中，单端信号适配器将正弦信号转换为方波信号同时将方波信号输入到相位计中，利用相位计计算外腔相位变化量；将相位计解调出的外腔相位变化量通过计算机计算得到被测物体的位移变化量。本发明可以广泛应用于移频光回馈系统的信号处理中。
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公开(公告)号：CN102506715B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201110309474.0
申请日：2011-10-13
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于微片激光器回馈干涉仪的位移数据处理方法，包括如下步骤：包括有微片激光器回馈干涉仪和外差信号处理系统；将从微片激光器回馈干涉仪得到的光信号输入到滤波器、放大器对信号进行滤波放大处理得到频率单一的光信号；将产生作为稳定的标准信号参与外差相位测量的电信号依次输入到滤波器、放大器对电信号进行滤波放大处理得到频率单一、大幅值的电信号；将产生的信号分别输入到所述单端信号适配器中，单端信号适配器将正弦信号转换为方波信号同时将方波信号输入到相位计中，利用相位计计算外腔相位变化量；将相位计解调出的外腔相位变化量通过计算机计算得到被测物体的位移变化量。
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公开(公告)号：CN102410809B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201110277717.7
申请日：2011-09-19
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种完全共路式微片激光器回馈干涉仪，其特征在于：它包括一微片激光器，微片激光器的发射端轴线上设置有第一分光镜，第一分光镜的反射光路上设置有第一全反射镜，第一全反射镜反射光路上设置有第二全反射镜，第二全反射镜反射光路上依次设置有第一声光移频器、第二声光移频器和第二分光镜，同时第二分光镜在第一分光镜的透射光路上，第二分光镜透射光路上设置有一光电探测器；微片激光器发射的激光经第一分光镜、第一全反射镜、第二全反射镜、第一声光移频器、第二声光移频器和第二分光镜构成的环形光路一次回到微片激光器的谐振腔中对激光的输出功率进行调制形成参考回馈光；经过环形回路一次的激光经待测物反射再一次经过环形光路回到微片激光器的谐振腔中对激光的输出功率进行调制形成测量回馈光。本发明可以广泛应用于非配合目标非接触式精确位移测量中。
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公开(公告)号：CN102410809A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201110277717.7
申请日：2011-09-19
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种完全共路式微片激光器回馈干涉仪，其特征在于：它包括一微片激光器，微片激光器的发射端轴线上设置有第一分光镜，第一分光镜的反射光路上设置有第一全反射镜，第一全反射镜反射光路上设置有第二全反射镜，第二全反射镜反射光路上依次设置有第一声光移频器、第二声光移频器和第二分光镜，同时第二分光镜在第一分光镜的透射光路上，第二分光镜透射光路上设置有一光电探测器；微片激光器发射的激光经第一分光镜、第一全反射镜、第二全反射镜、第一声光移频器、第二声光移频器和第二分光镜构成的环形光路一次回到微片激光器的谐振腔中对激光的输出功率进行调制形成参考回馈光；经过环形回路一次的激光经待测物反射再一次经过环形光路回到微片激光器的谐振腔中对激光的输出功率进行调制形成测量回馈光。本发明可以广泛应用于非配合目标非接触式精确位移测量中。
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