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公开(公告)号：CN116623123A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310819771.2
申请日：2023-07-05
申请人： 清华大学
摘要： 本发明公开了一种氮碳共渗镀膜一体化设备及氮碳共渗镀膜工件制备方法和应用。该设备包括氮碳共渗镀膜一体化设备本体、阴极罩、靶材挡板和工件架，氮碳共渗镀膜一体化设备本体上部形成真空腔室，氮碳共渗镀膜一体化设备本体下部形成共渗溅射腔，共渗溅射腔的内侧壁绝缘连接靶材；阴极罩间隔环绕共渗溅射腔内壁设置，阴极罩上设有多个通孔，阴极罩上端连接升降杆，阴极罩的下端可绝缘设在共渗溅射腔的底端；靶材挡板可旋转移动位于靶材与阴极罩之间；工件架位于阴极罩内，工件架与阴极罩内壁间隔，工件架下端绝缘连接共渗溅射腔底端。该设备实现了工件的氮碳共渗和镀膜在同一设备中进行，使工件的氮碳共渗镀膜一体化，大大提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN116288132A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310272655.3
申请日：2023-03-20
申请人： 清华大学
摘要： 本发明提出一种空心阴极辅助氮氧共渗的种植牙螺栓表面强化工艺，包括如下步骤：将NH3和O2作为反应气体，利用空心阴极辅助装置，在种植牙螺栓表面获得氮氧共渗改性层，该层具有良好的致密性和覆盖性。本申请的空心阴极辅助氮氧共渗的种植牙螺栓表面强化工艺克服了钛及钛合金种植牙在人体口腔环境中的易被磨损、被腐蚀的缺陷。本申请的工艺中采用酸洗前处理技术，解决了种植牙螺栓表面杂质和氧化层不宜去除的问题；本申请的工艺中采用了氮氧共渗处理的表面改性技术，可有效提高钛合金植入体的植入功效，提高种植牙螺栓的耐腐蚀、硬度以及生物相容性，具有很广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN116641015A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310819775.0
申请日：2023-07-05
申请人： 清华大学
摘要： 本发明公开了一种渗氮镀膜一体化设备及方法和应用。该设备包括渗氮镀膜一体化设备本体、挡板、阴极筒体和工件架，渗氮镀膜一体化设备本体的内侧壁上绝缘连接靶材；挡板可旋转地环绕渗氮镀膜一体化设备本体的内壁设置，挡板与渗氮镀膜一体化设备本体的内壁间隔，挡板上设有第一开口，第一开口可旋转至靶材对应位置；阴极筒体包括第一阴极筒体和第二阴极筒体，挡板和阴极筒体均与渗氮镀膜一体化设备本体的底部绝缘连接，第一阴极筒体和第二阴极筒体上分别设有的第二开口和第三开口均与靶材对应设置；工件架位于第二阴极筒体内。该设备将工件的渗氮和镀膜在同一设备中完成，实现了工件的渗氮镀膜一体化。
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公开(公告)号：CN115044866A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210530248.3
申请日：2022-05-16
摘要： 本发明公开了一种多层梯度结构涂层及其制备方法。所述多层梯度结构涂层包括：基底；依次沉积在所述基底表面的Cr打底层、CrN过渡层、CrWN过渡层、WCrZrCN和CrWZrCN的交替复合层。本发明在多层梯度结构涂层中引入了W、Zr、Cr、N和C元素，进一步提高了涂层的硬度、耐磨性、塑韧性和耐高温性能，且使涂层的微观组织更加致密，并使得基体和涂层间保持合理的多层硬度梯度，在合理控制内应力的同时还提升了基体和涂层的结合强度。
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公开(公告)号：CN115044866B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202210530248.3
申请日：2022-05-16
摘要： 本发明公开了一种多层梯度结构涂层及其制备方法。所述多层梯度结构涂层包括：基底；依次沉积在所述基底表面的Cr打底层、CrN过渡层、CrWN过渡层、WCrZrCN和CrWZrCN的交替复合层。本发明在多层梯度结构涂层中引入了W、Zr、Cr、N和C元素，进一步提高了涂层的硬度、耐磨性、塑韧性和耐高温性能，且使涂层的微观组织更加致密，并使得基体和涂层间保持合理的多层硬度梯度，在合理控制内应力的同时还提升了基体和涂层的结合强度。
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