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发明公开
集成式MEMS二维扫描探测系统、电容测角方法和装置审中-实审

公开(公告)号：CN115542290A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202211079151.1

申请日：2022-09-05

申请人： 清华大学

发明人： 张高飞 , 刘松涛 , 孟令镯

IPC分类号： G01S7/481 , G01B7/30

摘要： 本申请涉及一种集成式MEMS二维扫描探测系统、电容测角方法和装置。该集成式MEMS二维扫描探测系统包括：激光探测组件和设置在激光探测组件下方的磁路组件，激光探测组件为通过一个Y型二维旋转轴将扫描镜片与铆接区连接形成的一体式结构；磁路组件为通过两种类型磁路模组围成的中空式结构，不同类型的磁路模组用于产生不同方向维度磁场；激光探测组件的铆接区与磁路组件中的磁路模组连接，扫描镜片处于多个磁路模组围成的空腔中，且在不同方向维度磁场驱动下，Y型二维旋转轴带动扫描镜片在空腔中进行对应方向维度的转动。该集成式MEMS二维扫描探测系统能够减小电磁扫描镜的整体体积。