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公开(公告)号：CN101833018B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201010185004.3
申请日：2010-05-21
申请人： 清华大学
摘要： 本发明提供了一种基于光纤传感的扫描探针表面测量系统和测量方法，所述系统包括：光纤位移传感单元，用于检测发射光纤入射到接收光纤的光功率，将光功率转换成电信号输入系统控制单元；光纤对准单元；微悬臂探针单元，用于通过改变弹性微悬臂的位置或弹性形变，调整微探针在样品表面上的位置，并带动微平板测头产生垂直位移，改变入射到接收光纤的光功率；三维扫描单元，用于使样品做三维移动扫描；系统控制单元，用于对上述单元的运动进行监视或控制，并对接收到的电信号和微探针在样品表面上的位置进行数据处理，获得样品的表面结构。本发明结构简单、光学器件少、稳定性好；可以实现高分辨率、大范围超精表面的检测。
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公开(公告)号：CN1402227A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN02131065.3
申请日：2002-09-28
申请人： 清华大学
IPC分类号： G11B7/08
摘要： 本发明公开了属于光存储技术领域的一种新型超高密度母盘刻录机近场光学头驱动装置，为圆柱形装置，在光学头支架的外圆台阶上固定压电驱动文件，聚焦镜头安装在上面台阶孔内，在其底面的台阶孔上分别固定弹性元件，承载元件和光学头，以压电驱动元件带光学头支架作垂直上下运动，调整母盘和刻录光学头SIL之间的距离，并由承载元件底面上的楔形导轨调整母盘表面气流变化引起工作距的变化，与弹性元件配合，保证母盘在转动时与光学头超高速，母盘刻录机工作稳定、可靠。本发明至少将光存储密度提高一个数量级以上，具有广阔的应有前景。
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公开(公告)号：CN103743340A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201310737161.4
申请日：2013-12-30
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种角度和空间坐标的测量系统，其包括：一支承调节单元，所述支承调节单元包括一转台、一升降台、一平移台以及一隔振平台；一测量单元，所述测量单元包括一自准直仪、一激光测距仪、一工业相机、一第一反射镜以及一第二反射镜，所述自准直仪、激光测距仪、工业相机、第一反射镜以及第二反射镜位于同一竖直面内并且可以一起随所述平移台同时运动，且所述激光测距仪发出的激光经过第一反射镜和第二反射镜反射后可以与自准直仪的光轴同轴；以及一系统控制单元，所述系统控制单元包括一系统控制接口、一监视器以及一工控机。进一步本发明涉及一种采用该测量系统测量待测样品的角度和空间坐标的方法。
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公开(公告)号：CN101957246A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010233997.7
申请日：2010-07-20
申请人： 清华大学
摘要： 本发明提供了一种用于微力微位移测量系统的集成探测器，包括：固定架、光纤传感模块和微探测模块；固定架为U型，包括基座、左臂和右臂；左臂上设有左V型槽，右臂上设有右V槽型；光纤传感模块用于检测发射光纤入射到接收光纤的光功率的变化；其中，发射光纤置于固定架的左V型槽内，接收光纤置于固定架的右V型槽内；发射光纤和接收光纤同轴；微探测模块包括微探针、微悬臂和平移板，用于依据微探针在样品表面上的位置变化，通过微悬臂带动平移板产生垂直位移，改变入射到接收光纤的光功率；所述固定架与微探测模块为采用MEMS工艺加工制成的一体化固件。本发明提出的集成探测器，实现简单，成本较低，并且具有较高的探测精度。
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公开(公告)号：CN100345211C
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN02131063.7
申请日：2002-09-28
申请人： 清华大学
IPC分类号： G11B31/00
摘要： 本发明公开了属于光存储技术的一种新型高密度母盘刻录机，主要由固定于气浮转动台装在气浮转动台下面的控制系统精密控制。本发明空间结构布局紧凑、合理，采用高精度光栅上的径向运动的精密台及与之连接直立台，光学刻写头和母盘气浮主轴转动装置组成，并由安闭环控制，定位精度高、可靠性强；气浮主轴母盘转动装置转动平稳，在控制系统精密控制下，能刻录出符合现代技术要求的超高密度的母盘来，本发明在高密度的母盘刻录，光存储领域将有广泛地应用前景和开发潜力。
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公开(公告)号：CN1322323C
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200510011612.1
申请日：2005-04-22
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01N13/16
摘要： 一种多模式原子力探针扫描系统，属于纳米表面检测技术领域。为了能同时满足高分辨率和大范围检测的要求，本发明公开了一种多模式原子力探针扫描系统，包括光学测量单元、扫描探测单元和伺服控制单元三个部分，所述扫描探测单元包括承载样品的受伺服控制单元驱动的扫描台、微调机构、设在所述微调机构之上的压电双晶片，以及末端固定在压电双晶片上、探测端对应样品设置的微悬臂探针；所述微悬臂探针背面处于所述光学测量单元的光探针会聚点处，并与光探针轴线相垂直；所述压电双晶片由伺服控制单元控制，驱动微悬臂探针以接触式、非接触式或轻敲式三种模式之一进行探测。本发明可以实现大视场、纳米尺度超精表面缺陷检测。
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公开(公告)号：CN1172304C
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：CN02131065.3
申请日：2002-09-28
申请人： 清华大学
摘要： 本发明公开了属于光存储技术领域的一种新型超高密度母盘刻录机近场光学头驱动装置，为圆柱形装置，在光学头支架的外圆台阶上固定压电驱动文件，聚焦镜头安装在上面台阶孔内，在其底面的台阶孔上分别固定弹性元件，承载元件和光学头，以压电驱动元件带光学头支架作垂直上下运动，调整母盘和刻录光学头SIL之间的距离，并由承载元件底面上的楔形导轨调整母盘表面气流变化引起工作距离的变化，与弹性元件配合，保证母盘在转动时与光学头超高速，母盘刻录机工作稳定、可靠。本发明至少将光存储密度提高一个数量级以上。
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公开(公告)号：CN1376631A
公开(公告)日：2002-10-30
申请号：CN01140450.7
申请日：2001-12-07
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种压电式柔性驱动放大可调量程微夹持手,属于微机电系统技术领域,包括微致动器、柔性放大机构、尺寸预调机构和微夹持手;柔性放大机构固定在安装板上,尺寸预调机构固定在柔性放大机构的上部,微夹持手置于尺寸预调机构的上部,微致动器镶嵌于柔性放大机构的横向顶杆和支撑杆之间。本发明设计的微夹持手,空间结构紧凑,运动与力传递的可靠性强,非线性误差小,在微机械精密加工、微装配、微型机器人等领域将有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN101957246B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201010233997.7
申请日：2010-07-20
申请人： 清华大学
摘要： 本发明提供了一种用于微力微位移测量系统的集成探测器，包括：固定架、光纤传感模块和微探测模块；固定架为U型，包括基座、左臂和右臂；左臂上设有左V型槽，右臂上设有右V槽型；光纤传感模块用于检测发射光纤入射到接收光纤的光功率的变化；其中，发射光纤置于固定架的左V型槽内，接收光纤置于固定架的右V型槽内；发射光纤和接收光纤同轴；微探测模块包括微探针、微悬臂和平移板，用于依据微探针在样品表面上的位置变化，通过微悬臂带动平移板产生垂直位移，改变入射到接收光纤的光功率；所述固定架与微探测模块为采用MEMS工艺加工制成的一体化固件。本发明提出的集成探测器，实现简单，成本较低，并且具有较高的探测精度。
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公开(公告)号：CN1252697C
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200410003473.3
申请日：2004-03-30
申请人： 清华大学
摘要： 一种新型近场光存储深亚微米微飞行头，属光存储技术领域。为了克服现有技术三不足，本发明公开了一种近场光存储深亚微米微飞行头，包括承载微工作台、SIL和聚焦物镜，承载微工作台底面整体上是沿长度方向和宽度方向的抛物面叠加形成的类球面，承载微工作台前端开有中心槽；SIL上半部分为球冠面，下半部分为用于装卡定位的长方体基座，长方体基座的底面为正方形，SIL采用微装配技术嵌入所述承载微工作台前端的中心槽；聚焦物镜通过底部的圆柱形平台粘结在承载微工作台上表面。本发明采用了集成SIL与物镜于一体的结构设计，保证在工作过程中物镜后工作距恒定，提高了飞行头的近场耦合效率、飞行稳定性和抗扰动能力。
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