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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101749219A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200810239184.1
申请日：2008-12-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于精密机械中微型流体泵技术领域，涉及微型蠕动泵，主要由微泵芯片和驱动机构两部分组成。其中微泵芯片由微泵薄膜沟道结构层和底板组成，微泵薄膜沟道包括依次连通的进液口、入口过渡沟道槽、环形沟道、出口过渡沟道槽、出液口。驱动机构包括位于薄膜上方的钢球，吸引钢球的磁铁，带动磁铁转动的微电机以及联接电机和磁铁的轴套。本发明具有结构简单，工作可靠，能够控制流体流动，流量稳定，流量调节范围大，外形尺寸较小，无需高压或加热等苛刻条件等特点。
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公开(公告)号：CN101749219B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN200810239184.1
申请日：2008-12-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于精密机械中微型流体泵技术领域，涉及微型蠕动泵，主要由微泵芯片和驱动机构两部分组成。其中微泵芯片由微泵薄膜沟道结构层和底板组成，微泵薄膜沟道包括依次连通的进液口、入口过渡沟道槽、环形沟道、出口过渡沟道槽、出液口。驱动机构包括位于薄膜上方的钢球，吸引钢球的磁铁，带动磁铁转动的微电机以及联接电机和磁铁的轴套。本发明具有结构简单，工作可靠，能够控制流体流动，流量稳定，流量调节范围大，外形尺寸较小，无需高压或加热等苛刻条件等特点。
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公开(公告)号：CN102003560B
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201010514500.9
申请日：2010-10-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀，其由柔性聚合物结构层，底板，形状记忆合金丝和焊盘组成；聚合物结构层内设微流道结构，微流道结构包括：流体入口和出口；两端分别与入口和出口相通的内部流体流道；流道中部断开成中间断开结构；断开结构中间下表面周围为中间疏水隔断区；疏水隔断区之外的聚合物结构层下表面与底板由粘接层粘接；形状记忆合金丝中部弯成凹陷状，其凹陷状中心底端与疏水隔断区正上方的聚合物结构层粘接固定，合金丝两端分别依次穿过聚合物结构层和底板，并分别与底板背面上的焊盘焊接，两焊盘分别与驱动电源的正负极相连；具有制作简单、易与微流控芯片系统集成、工作可靠、常闭结构、可进行流量调节、尺寸小等特点。
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公开(公告)号：CN102003560A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010514500.9
申请日：2010-10-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀，其由柔性聚合物结构层，底板，形状记忆合金丝和焊盘组成；聚合物结构层内设微流道结构，微流道结构包括：流体入口和出口；两端分别与入口和出口相通的内部流体流道；流道中部断开成中间断开结构；断开结构中间下表面周围为中间疏水隔断区；疏水隔断区之外的聚合物结构层下表面与底板由粘接层粘接；形状记忆合金丝中部弯成凹陷状，其凹陷状中心底端与疏水隔断区正上方的聚合物结构层粘接固定，合金丝两端分别依次穿过聚合物结构层和底板，并分别与底板背面上的焊盘焊接，两焊盘分别与驱动电源的正负极相连；具有制作简单、易与微流控芯片系统集成、工作可靠、常闭结构、可进行流量调节、尺寸小等特点。
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公开(公告)号：CN101750437A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200810239185.6
申请日：2008-12-11
Applicant: 清华大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于碳纳米管湿度传感器及制作方法，其包括：一基底；通过热氧化法或化学气相沉积法生长于基底表面上的绝缘层；通过光刻/刻蚀法或光刻/剥离法或丝网印刷法制备于绝缘层表面上的由金属或多晶硅构成的电极对；电极对为平行对电极或梳齿式对电极；梳齿式对电极的梳齿相对放置或梳齿交叉放置；电极对之间和电极对上/下面组装有碳纳米管材料层；组装方法为电泳组装方法或流体排布组装方法或浸泡蒸发法；有益效果：电极对制作属于标准微加工工艺或丝网印刷工艺，方法简单；碳纳米管结构尺寸小，比表面积大，吸附能力强，且电泳组装、流体组装方法或浸泡蒸发法可实现批量生产；该湿度传感器尺寸小，灵敏度高，线性度好，能用于环境湿度检测。
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