公开(公告)号：CN105098305B

公开(公告)日：2018-06-19

申请号：CN201510536880.9

申请日：2015-08-27

Applicant: 清华大学

Inventor： 刘泽文 ,  钟琦

IPC: H01P1/22

Abstract: 本发明公开了一种分布式单电阻衰减器，包括：衬底；设置在衬底上的绝缘层；设置在绝缘层上的电阻层，以图形化形成多电极薄膜分布式电阻网络和与金属电极的触点；设置在电阻层上的信号线与地线，信号线与地线覆盖部分电阻层，以形成电极，从而通过控制信号线与地线，以及电阻层的尺寸形成共面波导；多电极薄膜分布电阻网络，多电极薄膜网络为电阻层未被信号线与地线覆盖部分。本发明实施例的衰减器能够避免使用大长宽比尺寸的电阻，节约了结构面积，并且提高衰减器的性能和稳定性。

公开(公告)号：CN105098305A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201510536880.9

申请日：2015-08-27

Applicant: 清华大学

Inventor： 刘泽文 ,  钟琦

IPC: H01P1/22

Abstract: 本发明公开了一种分布式单电阻衰减器，包括：衬底；设置在衬底上的绝缘层；设置在绝缘层上的电阻层，以图形化形成多电极薄膜分布式电阻网络和与金属电极的触点；设置在电阻层上的信号线与地线，信号线与地线覆盖部分电阻层，以形成电极，从而通过控制信号线与地线，以及电阻层的尺寸形成共面波导；多电极薄膜分布电阻网络，多电极薄膜网络为电阻层未被信号线与地线覆盖部分。本发明实施例的衰减器能够避免使用大长宽比尺寸的电阻，节约了结构面积，并且提高衰减器的性能和稳定性。