-
公开(公告)号：CN101846653A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010164347.1
申请日：2010-04-30
申请人： 湖北大学
IPC分类号： G01N29/036 , B81B3/00
摘要： 本发明提出了一种具有多边形电极的薄膜体声波传感器，它包括衬底、压电薄膜、分布于压电薄膜两表面的上下金属电极、电极引线以及覆盖在所述上电极表面的敏感膜。压电薄膜上的上下电极有一个或者两个是多边形，该多边形为任意两边不平行、内角均为钝角、边数小于10的多边形，其中正五边形的效果最好。本发明减小微波信号在平行边及锐角或直角处产生较强的反射，提高声波的振动效率，改善了器件的品质因数和测试灵敏度，增加了传感器的负载测试范围。本传感器同时还具有结构简单、制作方便、可靠性高、可采用微机械加工(MEMS)工艺流程制作等优点，也可用于其它声波谐振器和传感器。
-
公开(公告)号：CN102180518A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110026084.2
申请日：2011-01-25
申请人： 湖北大学
摘要： 本发明提出了一种五氧化二铌纳米线的大面积制备方法及其氢敏元件。具体是将裁剪为合适大小的Nb箔片严格清洗后经过弯曲或折叠处理，置于真空管式炉中严格控制热氧化过程的工艺条件(如Ar流量、O2流量、保温温度与时间等)，合成出大面积具有较高长径比的Nb2O5纳米线。该方法可实现在有限体积的炉管中大面积合成高长径比的Nb2O5纳米线，从而有效降低生产成本。利用该Nb2O5纳米线作为敏感材料，通过溅射制备Pt电极制作的氢敏元件具有尺寸小、功耗低等特点，在室温下对含氢气氛表现出较快的响应速率和较高的灵敏度，有望降低氢敏传感器的尺寸、功耗和生产成本。
-
公开(公告)号：CN102180518B
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201110026084.2
申请日：2011-01-25
申请人： 湖北大学
摘要： 本发明提出了一种五氧化二铌纳米线的大面积制备方法及其氢敏元件。具体是将裁剪为合适大小的Nb箔片严格清洗后经过弯曲或折叠处理，置于真空管式炉中严格控制热氧化过程的工艺条件(如Ar流量、O2流量、保温温度与时间等)，合成出大面积具有较高长径比的Nb2O5纳米线。该方法可实现在有限体积的炉管中大面积合成高长径比的Nb2O5纳米线，从而有效降低生产成本。利用该Nb2O5纳米线作为敏感材料，通过溅射制备Pt电极制作的氢敏元件具有尺寸小、功耗低等特点，在室温下对含氢气氛表现出较快的响应速率和较高的灵敏度，有望降低氢敏传感器的尺寸、功耗和生产成本。
-
公开(公告)号：CN101846653B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201010164347.1
申请日：2010-04-30
申请人： 湖北大学
IPC分类号： G01N29/036 , B81B3/00
摘要： 本发明提出了一种具有多边形电极的薄膜体声波传感器，它包括衬底、压电薄膜、分布于压电薄膜两表面的上下金属电极、电极引线以及覆盖在所述上电极表面的敏感膜。压电薄膜上的上下电极有一个或者两个是多边形，该多边形为任意两边不平行、内角均为钝角、边数小于10的多边形，其中正五边形的效果最好。本发明减小微波信号在平行边及锐角或直角处产生较强的反射，提高声波的振动效率，改善了器件的品质因数和测试灵敏度，增加了传感器的负载测试范围。本传感器同时还具有结构简单、制作方便、可靠性高、可采用微机械加工(MEMS)工艺流程制作等优点，也可用于其它声波谐振器和传感器。
-
-
-
搜索结果
4 条记录 (耗时 0.018 秒)
