一种紫外激光应用的远心F-theta光学镜头

    公开(公告)号:CN111123480A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN202010056785.X

    申请日:2020-01-19

    IPC分类号: G02B13/00 G02B13/14 G02B13/22

    摘要: 本发明属于光学镜头技术领域,公开了一种紫外激光应用的远心F-theta光学镜头,沿激光入射方向依次排列有第一、第二、第三、第四、第五、第六透镜,第一透镜和第四透镜为弯月型正透镜,曲面向着光线的入射方向弯曲;第二透镜和第三透镜为双凹型负透镜;第五透镜为平凸型正透镜;第六透镜为双凸型正透镜。该镜头的焦距为105mm,入瞳直径为9mm,入射光波长为355nm,视场角为ω,其为2ω=41°,加工区域为53mm*53mm。本发明的F-theta光学镜头整体结构紧凑,聚焦光斑小,像散

    一种紫外激光应用的远心F-theta光学镜头

    公开(公告)号:CN111123480B

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202010056785.X

    申请日:2020-01-19

    IPC分类号: G02B13/00 G02B13/14 G02B13/22

    摘要: 本发明属于光学镜头技术领域,公开了一种紫外激光应用的远心F‑theta光学镜头,沿激光入射方向依次排列有第一、第二、第三、第四、第五、第六透镜,第一透镜和第四透镜为弯月型正透镜,曲面向着光线的入射方向弯曲;第二透镜和第三透镜为双凹型负透镜;第五透镜为平凸型正透镜;第六透镜为双凸型正透镜。该镜头的焦距为105mm,入瞳直径为9mm,入射光波长为355nm,视场角为ω,其为2ω=41°,加工区域为53mm*53mm。本发明的F‑theta光学镜头整体结构紧凑,聚焦光斑小,像散

    一种紫外激光应用的远心F-theta光学镜头

    公开(公告)号:CN211375164U

    公开(公告)日:2020-08-28

    申请号:CN202020111250.3

    申请日:2020-01-19

    IPC分类号: G02B13/00 G02B13/14 G02B13/22

    摘要: 本实用新型属于光学镜头技术领域,公开了一种紫外激光应用的远心F-theta光学镜头,沿激光入射方向依次排列第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜;第一透镜为弯月型正透镜,曲面向着光线的入射方向弯曲;第二透镜为双凹型负透镜;第三透镜为双凹型负透镜;第四透镜为弯月型正透镜,曲面向着光线的入射方向弯曲;第五透镜为平凸型正透镜;第六透镜为双凸型正透镜。该紫外激光应用的远心F-theta光学镜头整体结构紧凑,聚焦光斑小,通过特定结构光学系统的设置,以及透镜组光焦度的合理分配,使像散、场曲等显著降低,像散