公开(公告)号：CN116690199A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310980037.4

申请日：2023-08-07

申请人： 湖南天羿领航科技有限公司

发明人： 虢晓双 ,  隆祖亿 ,  周军雷 ,  刘卓 ,  赵文达 ,  沈婷 ,  李靖 ,  杨有清

IPC分类号： B23P23/00 ,  B23P15/00 ,  G01C25/00 ,  C23F1/02

摘要： 本发明公开了一种带裙齿的微半球陀螺仪谐振结构加工方法及装置，本发明的加工方法包括在谐振结构上利用飞秒激光按照给定间距点击加工出裙齿的轮廓点阵列；将谐振结构在腐蚀槽中进行超声化学刻蚀将裙齿的结构完全释放出来；本发明的装置包括激光加工单元和用于固定谐振结构的治具组件，包括用于对谐振结构激光加工的贴片工装以及用于腐蚀作业的腐蚀夹具。本发明能够有效避免传统激光直接切割产生的微裂纹等表面损伤问题，改善微半球陀螺仪Q值、阻尼均匀性；具有整体结构加工对称性更好、可批量加工处理的优点，可有效解决激光切割垂直加工较难问题，实现垂直成型加工，可进一步缩小加工间隙，增大器件工作电容面积，提高微半球陀螺仪灵敏度。

公开(公告)号：CN116690199B

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202310980037.4

申请日：2023-08-07

申请人： 湖南天羿领航科技有限公司

发明人： 虢晓双 ,  隆祖亿 ,  周军雷 ,  刘卓 ,  赵文达 ,  沈婷 ,  李靖 ,  杨有清

IPC分类号： B23P23/00 ,  B23P15/00 ,  G01C25/00 ,  C23F1/02

摘要： 本发明公开了一种带裙齿的微半球陀螺仪谐振结构加工方法及装置，本发明的加工方法包括在谐振结构上利用飞秒激光按照给定间距点击加工出裙齿的轮廓点阵列；将谐振结构在腐蚀槽中进行超声化学刻蚀将裙齿的结构完全释放出来；本发明的装置包括激光加工单元和用于固定谐振结构的治具组件，包括用于对谐振结构激光加工的贴片工装以及用于腐蚀作业的腐蚀夹具。本发明能够有效避免传统激光直接切割产生的微裂纹等表面损伤问题，改善微半球陀螺仪Q值、阻尼均匀性；具有整体结构加工对称性更好、可批量加工处理的优点，可有效解决激光切割垂直加工较难问题，实现垂直成型加工，可进一步缩小加工间隙，增大器件工作电容面积，提高微半球陀螺仪灵敏度。