低触发可调控维持电压双向静电释放器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN109950240B

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN201910246362.1

    申请日:2019-03-29

    IPC分类号: H01L27/02

    摘要: 本发明公开了一种低触发可调控维持电压双向静电释放器件,包括P型衬底;P型衬底上设有第一、第二N阱;第一N阱中设有第一N+注入区、第一P+注入区,第二N阱中设有第四P+注入区、第四N+注入区,第二P+注入区横跨第一N阱和P型衬底,第三P+注入区横跨P型衬底和第二N阱;第二P+注入区与第三P+注入区之间设有第二、第三N+注入区;第一多晶硅栅位于第一、第二P+注入区之间;第二多晶硅栅位于第二、第三N+注入区之间;第三多晶硅栅位于第三、第四P+注入区之间。本发明在传统双向SCR中间嵌入NMOS管,通过给GATE不同的栅压调控器件的维持电压,可降低维持电压来箝住ESD脉冲。

    低触发可调控维持电压双向静电释放器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN109950240A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201910246362.1

    申请日:2019-03-29

    IPC分类号: H01L27/02

    摘要: 本发明公开了一种低触发可调控维持电压双向静电释放器件,包括P型衬底;P型衬底上设有第一、第二N阱;第一N阱中设有第一N+注入区、第一P+注入区,第二N阱中设有第四P+注入区、第四N+注入区,第二P+注入区横跨第一N阱和P型衬底,第三P+注入区横跨P型衬底和第二N阱;第二P+注入区与第三P+注入区之间设有第二、第三N+注入区;第一多晶硅栅位于第一、第二P+注入区之间;第二多晶硅栅位于第二、第三N+注入区之间;第三多晶硅栅位于第三、第四P+注入区之间。本发明在传统双向SCR中间嵌入NMOS管,通过给GATE不同的栅压调控器件的维持电压,可降低维持电压来箝住ESD脉冲。

    低触发可调控维持电压双向静电释放器件

    公开(公告)号:CN209461460U

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201920429165.9

    申请日:2019-03-29

    IPC分类号: H01L27/02

    摘要: 本实用新型公开了一种低触发可调控维持电压双向静电释放器件,包括P型衬底;P型衬底上设有第一、第二N阱;第一N阱中设有第一N+注入区、第一P+注入区,第二N阱中设有第四P+注入区、第四N+注入区,第二P+注入区横跨第一N阱和P型衬底,第三P+注入区横跨P型衬底和第二N阱;第二P+注入区与第三P+注入区之间设有第二、第三N+注入区;第一多晶硅栅位于第一、第二P+注入区之间;第二多晶硅栅位于第二、第三N+注入区之间;第三多晶硅栅位于第三、第四P+注入区之间。本实用新型在传统双向SCR中间嵌入NMOS管,通过给GATE不同的栅压调控器件的维持电压,可降低维持电压来箝住ESD脉冲。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种高防护等级单向可控硅静电防护器件

    公开(公告)号:CN211858654U

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN202020990483.5

    申请日:2020-06-02

    摘要: 本实用新型公开了一种高防护等级单向可控硅静电防护器件,包括P型衬底;衬底中设有第一N型深阱,第二N型深阱;第二N型深阱右侧设有P阱;第一N型深阱内设有第一P+注入区和第一N+注入区;第二N型深阱内设有第二P+注入区和第二N+注入区;第一N型深阱和第二N型深阱中间设有跨接的第四N+注入区;P阱内设有第三P+注入区和第三N+注入区;第一P+注入区、第一N+注入区、第二P+注入区和第二N+注入区连接在一起并作为器件的阳极,第三P+注入区和第三N+注入区连接在一起并作为器件的阴极。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利