公开(公告)号：CN115420788A

公开(公告)日：2022-12-02

申请号：CN202211071534.4

申请日：2022-09-01

申请人： 湘潭大学

发明人： 张勇 ,  刘灿 ,  孙宇 ,  郭嘉懿 ,  李秀磊

IPC分类号： G01N27/414 ,  H01L27/28 ,  H01L51/05 ,  H01L51/30 ,  H01L51/40

摘要： 本发明提供一种用于多种气体识别的碳基薄膜晶体管型传感器阵列及其制备方法，传感器阵列结构包括四个独立的气体检测通道，每个气体检测通道由硅基衬底、介电层、源极电极、漏极电极及沟道有源层构成传感组件。沟道有源层所在的区域的敏感材料层，用于提高沟道有源层CNT的选择性。每个气体检测通道的CNT‑TFT型传感组件通过暴露在目标气体前后，将气体的变化转变为电学信号，对气体进行信息采集和输出电信号。基于四个气体检测通道的响应输出结合线性判别分析算法通过分析信息识别出气体。本发明提出的用多种气体识别的碳基薄膜晶体管型传感器阵列，能实现对氨气、硫化氢和甲醛三种气体的高灵敏检测和准确识别，促进室内多种有害气体的实时在线监测。

公开(公告)号：CN218512355U

公开(公告)日：2023-02-21

申请号：CN202222321887.7

申请日：2022-09-01

申请人： 湘潭大学

发明人： 张勇 ,  刘灿 ,  孙宇 ,  郭嘉懿 ,  李秀磊

IPC分类号： G01N27/12

摘要： 本实用新型提供一种用于多种气体识别的碳基薄膜晶体管型传感器阵列，传感器阵列结构包括四个独立的气体检测通道，每个气体检测通道由硅基衬底、介电层、源极电极、漏极电极及沟道有源层构成传感组件。沟道有源层所在的区域的敏感材料层，用于提高沟道有源层CNT的选择性。每个气体检测通道的CNT‑TFT型传感组件通过暴露在目标气体前后，将气体的变化转变为电学信号，对气体进行信息采集和输出电信号。基于四个气体检测通道的响应输出结合线性判别分析算法通过分析信息识别出气体。本实用新型提出的用多种气体识别的碳基薄膜晶体管型传感器阵列，能用于对氨气、硫化氢和甲醛三种气体的高灵敏检测和准确识别，促进室内多种有害气体的实时在线监测。