公开(公告)号：CN114993802B

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202210672680.6

申请日：2022-06-14

申请人： 大晟芯材料科技(山东)有限公司 ,  滨化集团股份有限公司 ,  滨化技术有限公司

发明人： 沙蓓蓓 ,  杨振军 ,  李刚 ,  冀振伟 ,  于成功 ,  张文乾 ,  陈国庆 ,  龙飞 ,  刘飞

IPC分类号： G01N1/40 ,  G01N1/44 ,  G01N1/28 ,  G01N27/06

摘要： 本发明属于化学测试方法技术领域，尤其涉及一种电子级氢氟酸中有机物杂质含量的测试方法，包括以下步骤：采用低温蒸发、高纯氮气吹扫除去电子级氢氟酸样品中的大量氟化氢，对样品进行浓缩，然后用超纯水对浓缩样品进行稀释，进一步降低样品中的酸度和氢氟酸含量；将前处理后的电子级氢氟酸水样采用灵敏度高的总有机碳分析仪进行检测，从而得到电子级氢氟酸中的有机物的含量。本发明所述方法采用低温蒸发/高纯氮气吹扫的方式除去了样品中大量的氟离子，一方面减少了样品基低的干扰，另一方面也降低了氟离子在酸性环境下对仪器的损害；同时使样品中的目标物得到富集，提高了分析检测的灵敏度。

公开(公告)号：CN114993802A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210672680.6

申请日：2022-06-14

申请人： 滨化集团股份有限公司

发明人： 沙蓓蓓 ,  杨振军 ,  李刚 ,  冀振伟 ,  于成功 ,  张文乾 ,  陈国庆 ,  龙飞 ,  刘飞

IPC分类号： G01N1/40 ,  G01N1/44 ,  G01N1/28 ,  G01N27/06

摘要： 本发明属于化学测试方法技术领域，尤其涉及一种电子级氢氟酸中有机物杂质含量的测试方法，包括以下步骤：采用低温蒸发、高纯氮气吹扫除去电子级氢氟酸样品中的大量氟化氢，对样品进行浓缩，然后用超纯水对浓缩样品进行稀释，进一步降低样品中的酸度和氢氟酸含量；将前处理后的电子级氢氟酸水样采用灵敏度高的总有机碳分析仪进行检测，从而得到电子级氢氟酸中的有机物的含量。本发明所述方法采用低温蒸发/高纯氮气吹扫的方式除去了样品中大量的氟离子，一方面减少了样品基低的干扰，另一方面也降低了氟离子在酸性环境下对仪器的损害；同时使样品中的目标物得到富集，提高了分析检测的灵敏度。