公开(公告)号：CN108885390A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780022829.3

申请日：2017-03-30

Applicant: 激光影像系统有限责任公司

Inventor： 乌尔班·肖尔茨-格拉赫 ,  乌韦·克洛斯基 ,  京特·弗莱明

IPC: G03B27/60 ,  H01L21/683 ,  B23K37/04 ,  B25B11/00 ,  G03F7/20 ,  B41F15/20

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B25B11/005 ,  B41F15/20 ,  G03F7/707 ,  H01L21/6875 ,  H01L21/68785

Abstract: 本发明涉及借助于真空固定物体的设备。本发明的目的是使得能够以精细的增量改变真空台的有效表面积，从而能够可靠地捕获底部区域大小不同的物体。通过借助于真空固定物体的设备实现该目的，在于除了第一真空室(11)之外，在台(1)上布置有第二真空室(12)和第三真空室(13)，第三真空室(13)将第一真空室(11)和第二真空室(12)延伸到在x方向上的整个延伸长度，其中第二真空室(12)包括由在x方向上延伸的多个平行的行形成沟槽(15)组成的结构，行形成沟槽(15)通过第一连接通道(22)在y方向上彼此连接，且能够借助于行切换设备(2)相对于第一真空室(11)顺次地释放或关闭，第三真空室(13)包括由在y方向上延伸的多个平行的列形成沟槽(16)组成的结构，列形成沟槽(16)经由第二连接通道(42)在x方向上彼此连接，且能够借助于列切换设备(4)相对于第一真空室(11)顺次释放或关闭，且能够借助于行切换设备(2)以同时分段的方式并根据与第二真空室(12)相对应的行形成沟槽(15)的数目和位置在y方向上顺次释放或关闭第三真空室(13)。

公开(公告)号：CN108885390B

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN201780022829.3

申请日：2017-03-30

Applicant: 激光影像系统有限责任公司

Inventor： 乌尔班·肖尔茨-格拉赫 ,  乌韦·克洛斯基 ,  京特·弗莱明

IPC: G03B27/60 ,  H01L21/683 ,  B23K37/04 ,  B25B11/00 ,  G03F7/20 ,  B41F15/20

Abstract: 本发明涉及借助于真空固定物体的设备。本发明的目的是使得能够以精细的增量改变真空台的有效表面积，从而能够可靠地捕获底部区域大小不同的物体。通过借助于真空固定物体的设备实现该目的，在于除了第一真空室(11)之外，在台(1)上布置有第二真空室(12)和第三真空室(13)，第三真空室(13)将第一真空室(11)和第二真空室(12)延伸到在x方向上的整个延伸长度，其中第二真空室(12)包括由在x方向上延伸的多个平行的行形成沟槽(15)组成的结构，行形成沟槽(15)通过第一连接通道(22)在y方向上彼此连接，且能够借助于行切换设备(2)相对于第一真空室(11)顺次地释放或关闭，第三真空室(13)包括由在y方向上延伸的多个平行的列形成沟槽(16)组成的结构，列形成沟槽(16)经由第二连接通道(42)在x方向上彼此连接，且能够借助于列切换设备(4)相对于第一真空室(11)顺次释放或关闭，且能够借助于行切换设备(2)以同时分段的方式并根据与第二真空室(12)相对应的行形成沟槽(15)的数目和位置在y方向上顺次释放或关闭第三真空室(13)。